新製品 高精度ロングストローク XYステージ

2021.01.08

分析・検査装置への組み込みに最適 YA16F image

特 長 bar

真直度の高い再現性
 部品精度、剛性、組立技術の向上により、軌跡の再現性が高いため、補正や原点復帰が安定し高精度な位置決めが可能です。

真直度データ


特殊測定による信頼性向上

 お客様の使用方法に近い条件で、重要となる精度項目の測定を事前に行い、装置組み込み後の「想定外」を低減します。

例1. 荷重1kg搭載時のステージの等速性を知りたい

等速性データ

 

例2. ステージ停止時(励磁状態)の位置安定性を知りたい

位置安定性データ

 

配線作業の利便性向上

 ケーブルベアキットの取付用タップ穴が本体にありますので、納入後でもケーブルベアを取り付けていただくことが可能です。弊社で取り付けての納入も対応しております。

ケーブルベアキットの取付イメージ


柔軟なカスタム対応

 ケーブルベアキットの取付用タップ穴が本体にありますので、納入後でもケーブルベアを取り付けていただくことが可能です。弊社で取り付けての納入も対応しております。

駆動モーターの変更  ステッピングモーター
  (AZ,αステップ,2相,電磁ブレーキ 等)
 サーボモーター
  (OrientalMotor,安川電機,三菱電機,Panasonic 等)
リニアスケールの取付  高分解能スケールの取付により、絶対位置決め精度
 の向上が可能。 駆動反転時のバックラッシュによる
 ロストモーションの低減にも繋がります。
 (レニショー,ハイデンハイン,マグネスケール 等)
耐環境  真空対応グリス:S-3230 (MORESCO)
 クリーングリス:LG2 (日本精工)
 その他、ご指定のグリスがあれば、ご相談ください。

 

システム構成例 bar システム構成

寸法・精度仕様 bar

寸法図

スペック表

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