新製品 高精度ロングストローク XYステージ
2021.01.08
分析・検査装置への組み込みに最適
特 長
部品精度、剛性、組立技術の向上により、軌跡の再現性が高いため、補正や原点復帰が安定し高精度な位置決めが可能です。
お客様の使用方法に近い条件で、重要となる精度項目の測定を事前に行い、装置組み込み後の「想定外」を低減します。
例1. 荷重1kg搭載時のステージの等速性を知りたい
例2. ステージ停止時(励磁状態)の位置安定性を知りたい
ケーブルベアキットの取付用タップ穴が本体にありますので、納入後でもケーブルベアを取り付けていただくことが可能です。弊社で取り付けての納入も対応しております。
ケーブルベアキットの取付用タップ穴が本体にありますので、納入後でもケーブルベアを取り付けていただくことが可能です。弊社で取り付けての納入も対応しております。
駆動モーターの変更 | ステッピングモーター (AZ,αステップ,2相,電磁ブレーキ 等) サーボモーター (OrientalMotor,安川電機,三菱電機,Panasonic 等) |
リニアスケールの取付 | 高分解能スケールの取付により、絶対位置決め精度 の向上が可能。 駆動反転時のバックラッシュによる ロストモーションの低減にも繋がります。 (レニショー,ハイデンハイン,マグネスケール 等) |
耐環境 | 真空対応グリス:S-3230 (MORESCO) クリーングリス:LG2 (日本精工) その他、ご指定のグリスがあれば、ご相談ください。 |
システム構成例
寸法・精度仕様