先進パワー半導体分科会第3回講演会企業展示のお知らせ

2016.11.04

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  ウエハの反り測定には、自重たわみ(外力)補正が必須 !!

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といったコンセプトで『先進パワー半導体分科会第3回講演会』に

【 高精度形状測定システム Dyvoce(ダイボス) 】を

パネル展示いたします。

 

 

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  【YouTube】 形状測定システムDyvoce(ダイボス)の説明動画

  Dyvoce(約4分): youtu.be/JT3h-ZmgM-M

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どんなに高い精度で測定しても、

測定時のワークにかかる 【 自重たわみ 】 や 【 吸着による変形 】を無視しては、

SORI・BOW等の値は、【真値】と思われる値からかけ離れ、正しい測定とはいえません。

特に、薄いウエハや大口径ウエハの場合、

これらによる誤差量は100μmを大きく超える場合があります。

 

【 形状測定システム Dyvoce(ダイボス) 】では、

これらの影響を除去した、

【 より真値に近い測定 】を可能にします。

 

実例として、

この装置Dyvoce(ダイボス)では、

なんと厚さ100μmという薄さのφ300Siウエハでも、

その自重たわみなどがない≪本来の反り≫を高い正確性で測定を行えます。

 

先進パワー半導体分科会第3回講演会では、

弊社のご提案する 【より真値に近い測定】について、

【インダストリアルセッション】にてご説明させていただきます。

 

反り測定器導入の検討をされている方、干渉計の測定結果に疑問をお持ちの方は必見です。

皆様のお越しを心よりお待ちしております。

 

 

 

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先進パワー半導体分科会第3回講演会

 

 

会期:11 月8 日(火)9:00~17:40(18:30~20:30 懇親会)

      9 日(水)9:00~16:30

 

会場:つくば国際展示場

     〒305-0032 茨城県つくば市竹園2-20-3

     会場HP  https://www.epochal.or.jp/index.html

 

●●●●●  【インダストリアルセッション】  ●●●●●

 

日時 : 11月8日(火)16:53~16:58

プログラムナンバー : IS2-8(中ホール200)

表題 :【 半導体ウエハにおける、干渉計と面内スキャンタイプ形状測定システムのデータ比較 】

 

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主催者HP  annex.jsap.or.jp/adps/cgi-bin/navi/index.html

 

~半導体ウエハの反りをはじめとする形状を簡単・高精度測定~

 

 製品はコチラ!→ 表面形状測定システム Dyvoceシリーズ

 

 

 

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