展示会情報 第64回応用物理学会春季学術講演会 3/14~3/17

2017.02.06

□■□━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━

第64回応用物理学会春季学術講演会展示会(JSAP Spring Meeting 2017)

公式webサイト:http://meeting.jsap.or.jp/

開催日時:3月14日(火) ~ 17日(金) 

会場:   パシフィコ横浜

        〒220-0012 神奈川県横浜市西区みなとみらい1-1-1

        http://www.pacifico.co.jp/

小間番号:Aa-10

出展製品:高精度形状測定システムDyvoce(ダイボス)

非接触型の形状測定システム「ダイボス」は、生成した2D/3Dモデルから

SEMI規格のSORI・BOW・GBIR等の各種規格値の自動算出が可能です。

お客様の仕様に合わせたカスタマイズも可能です。

━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━□■□

 

 

+++++++++++++++++++++++++++++++

  ウエハの反り測定には、自重たわみ(外力)補正が必須 !!

+++++++++++++++++++++++++++++++

 

 

といったコンセプトで「応用物理学会」に

【 形状測定システム Dyvoce(ダイボス) 】を

パネル展示いたします。

 

 

+++++++++++++++++++++++++++++++

  【YouTube】 形状測定システムDyvoce(ダイボス)の説明動画

  Dyvoce(約4分): youtu.be/JT3h-ZmgM-M

+++++++++++++++++++++++++++++++

 

 

どんなに高い精度で測定しても、

測定時のワークにかかる 【 自重たわみ 】 や 【 吸着による変形 】を無視しては、

SORI・BOW等の値は、【真値】と思われる値からかけ離れ、正しい測定とはいえません。

特に、薄いウエハや大口径ウエハの場合、

これらによる誤差量は100μmを大きく超える場合があります。

 

【 形状測定システム Dyvoce(ダイボス) 】では、

これらの影響を除去した、

【 より真値に近い測定 】を可能にします。

 

実例として、

この装置Dyvoce(ダイボス)では、

なんと厚さ100μmという薄さのφ300Siウエハでも、

その自重たわみなどがない≪本来の反り≫を高い正確性で測定を行えます。

 

応用物理学会会場では、

弊社のご提案する 【より真値に近い測定】の詳細なご説明をさせていただきます。

 

反り測定器導入の検討をされている方は必見です。

皆様のお越しを心よりお待ちしております。