新製品 自動回転ステージ RA05A-T01

2022.06.01

RA05A-T01 image

テーブル面 50mm×50mm 面振れ ≦5μm/±3°
案内方式 クロスローラーベアリング 偏 心 ≦5μm/±3°
回転範囲 ±3° モーメント荷重 0.31arcsec/N・cm
送り方式 タンジェントバー 水平耐荷重

58.9N (約6kg)

分解能(フル/+ハーフ) ≒0.004°/≒0.002° 材 質 アルミ合金
最高速度 40°/sec (Half 20kpps) 外 観 白色仕上げ
ロストモーション ≦0.005° 自 重 0.5kg
角度再現性 ≦0.001° 標準使用モーター 5相ステッピングモーター
(定格電流 0.35A/相)
バックラッシュ ≦0.005° 定価 ¥192,000-

 

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