新製品 自動Xステージ SXAシリーズ
2021.10.13
特長
仕様
| Xステージ (1軸) | |||||
| 型 式 | SXA0530-R01 | SXA0750-R01 | SXA0775-R01 | SXA1075-R01 | |
| 製品写真 |  |  |  |  | |
| テーブル面 (mm) | 50×60 | 75×100 | 75×125 | 100×120 | |
| 移動範囲 (mm) | ±15 | ±25 | ±37.5 | ±37.5 | |
| 分 解 能 | ﾌﾙ / ﾊｰﾌｽﾃｯﾌﾟ | 1μm/0.5μm | 1μm/0.5μm | 1μm/0.5μm | 2μm/1μm |
| ﾏｲｸﾛｽﾃｯﾌﾟ(1/20) | 0.05μm | 0.05μm | 0.05μm | 0.1μm | |
| 最高速度 (20kpps時) | 10mm/sec | 10mm/sec | 10mm/sec | 20mm/sec | |
| 水平耐荷重 | 147N (15kgf) | 196N (20kgf) | 196N (20kgf) | 343N (35kgf) | |
| 定 価 | ￥98,000 | ￥110,000 | ￥125,000 | ￥150,000 | |
| XYステージ (2軸) | |||||
| 型 式 | SYA0530-R01 | SYA0750-R01 | SYA0775-R01 | SYA1075-R01 | |
| 製品写真 |  |  |  |  | |
| テーブル面 (mm) | 50×60 | 75×100 | 75×125 | 100×120 | |
| 移動範囲 (mm) | ±15 | ±25 | ±37.5 | ±37.5 | |
| 分 解 能 | ﾌﾙ / ﾊｰﾌｽﾃｯﾌﾟ | 1μm/0.5μm | 1μm/0.5μm | 1μm/0.5μm | 2μm/1μm |
| ﾏｲｸﾛｽﾃｯﾌﾟ(1/20) | 0.05μm | 0.05μm | 0.05μm | 0.1μm | |
| 最高速度 (20kpps時) | 10mm/sec | 10mm/sec | 10mm/sec | 20mm/sec | |
| 水平耐荷重 | 142N (14.5kgf) | 186N (19kgf) | 186N (19kgf) | 324N (33kgf) | |
| 定 価 | ￥196,000 | ￥220,000 | ￥250,000 | ￥300,000 | |
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