手動X/XYステージ

XM10A-C3-CL

価格(JPY)
¥ 91,000
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ステージ結線図

備考・特徴

●精密クロスローラガイドを使用した手動XYステージです。
●本体材質はアルミ白色仕上げを採用。
●センター押しタイプは使い易さに優れています。
●「Fine Pitch Positioner FPP03-13」を搭載した高分解能タイプです。
●「FPP03-13」は神津精機が独自設計開発したサブミクロン対応のマイクロメータヘッドです。
メカ仕様
型式XM10A-C3-CL
勝手違いXM10A-C3-R-CL
テーブル面100mm×100mm
案内方式精密クロスローラガイド
移動範囲粗動 13mm, 微動 0.3mm
真直度≦1.5μm/13mm
最小読み取り粗動 約10μm/目盛, 微動 約0.5μm/目盛
モーメント荷重0.07 arcsec/N・cm
水平耐荷重98N (10kgf)
材質アルミ合金
外観白色仕上げ
自重0.85kg
直交度-
駆動方式精密ポジショナー FPP03-13(13mm)
オーバーホール費
¥ 15,000~
※オーバーホール費に交換部品代は含まれません
オプション・グリス交換
クリーングリス交換費( 型式末尾に”-C”が付きます) ¥ 12,000
真空グリス交換費(型式末尾に”-V”が付きます) ¥ 12,000
オプション・モータ交換
同形モータ交換費 ~
異形モータ交換費 ~
※モータ交換費に モータ費用は含まれません
 アクセサリ
 アクセサリ スペーサ等のアクセサリについてはこちらをご覧ください
お客様のご要望により製品の改造も承ります。詳しくはお問い合わせください。

関連情報

C3-CL、C3-R-CL、C3-RRR-CLのグリス交換は、本体のみとなります。

手動X/XYステージの技術情報はこちらをご覧ください。

手動X/XYステージ