手動X/XYステージ モンブランシリーズ ※詳細は型式をクリックして下さい
YM05A-S3-CL
| 価格(JPY) |
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| ¥ 180,000 |
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備考・特徴
●精密クロスローラガイドを使用した手動Xステージです。
●本体材質はアルミ白色仕上げを採用。
●サイド押しタイプはコンパクトで狭いスペースでの使用に最適です。
●「Fine Pitch Positioner FPP03-13」を搭載した高分解能タイプです。
●「FPP03-13」は神津精機が独自設計開発したサブミクロン対応のマイクロメータヘッドです。
●本体材質はアルミ白色仕上げを採用。
●サイド押しタイプはコンパクトで狭いスペースでの使用に最適です。
●「Fine Pitch Positioner FPP03-13」を搭載した高分解能タイプです。
●「FPP03-13」は神津精機が独自設計開発したサブミクロン対応のマイクロメータヘッドです。
メカ仕様
| 型式 | YM05A-S3-CL |
|---|---|
| 勝手違い | YM05A-S3-RRR-CL |
| テーブル面 | 50mm×50mm |
| 案内方式 | 精密クロスローラガイド |
| 移動範囲 | 粗動 13mm, 微動 0.3mm |
| 真直度 | ≦2.0μm/13mm |
| 最小読み取り | 粗動 約10μm/目盛, 微動 約0.5μm/目盛 |
| モーメント荷重 | 0.61 arcsec/N･cm |
| 水平耐荷重 | 39.2N (4kgf) |
| 材質 | アルミ合金 |
| 外観 | 白色仕上げ |
| 自重 | 0.6 kg |
| 直交度 | ≦20μm/13mm |
| 駆動方式 | 精密ポジショナー FPP03-13(13mm) |
| オーバーホール費 |
|---|
| ¥ 30,000~ |
| オプション・グリス交換 | |
|---|---|
| クリーングリス交換費（ 型式末尾に”-C”が付きます） | ¥ 24,000 |
| 真空グリス交換費（型式末尾に”-V”が付きます） | ¥ 24,000 |
| オプション・モータ交換 | |
|---|---|
| 同形モータ交換費 | ~ |
| 異形モータ交換費 | ~ |
| アクセサリ | |
|---|---|
| アクセサリ | スペーサ等のアクセサリについてはこちらをご覧ください |