自動X/XYステージ

XA16F-L21

価格(JPY)
¥ 360,000
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ステージ結線図

備考・特徴

●本体部材質に鉄、送り方式にボールネジを採用することにより高剛性と精密位置決めを同時に実現。
●各種測定機器への利用に最適。
●オプションのテーブル(アルミ)は2種類のマトリックスをご用意。
●モーター10本リード線用ケーブルをご使用ください。
●2相ステッピングモーター仕様も承ります。[型式] XA16F-L21-BM 追加費用¥40,000
メカ仕様
型式XA16F-L21
勝手違いXA16F-L21-R
テーブル面160mm×160mm
案内方式精密リニアガイド
移動範囲±50mm
送り方式ボールネジ, リード 5.0mm
分解能 フル/ハーフ10μm/5μm
分解能 マイクロステップ (1/20分割)0.5μm
最高速度50mm/sec
累積リード誤差≦15μm/100mm
繰返し位置決め精度≦±0.5μm
ロストモーション≦5μm
水平真直度≦4μm/100mm
垂直真直度≦4μm/100mm
バックラッシュ≦2μm
モーメント荷重0.02 arcsec/N・cm
水平耐荷重392N (40kgf)
材質鉄 (テーブル: アルミ合金)
外観黒色仕上げ
自重11.5kg
電気仕様
使用モータ5相ステッピングモーター (オリエンタルモーター: PK566-B)
2相ステッピングモーター(オリエンタルモーター: PK264JDB)
コネクタ型式角形20ピン (ヒロセ: PC-1620, P-1620A-STA)
センサ基板型式F104(LIMIT), F105(HOME), F107(INDEX)
Options/Accessories
真空up to "ultra heigh vacuum" (UHV), contact us.
Clean room-C Lubricant exchange
Mirror Symmetrysee technical for possibilities, contact us
Motor handleto manually move the stage
Motor typenearly any motor type can be mounted, contact us.
Connector typeexchange to DSub 15 connector, contact us.
Limitdifferent types of optical/mechanical, contact us.
EncoderLinear encoders (up to 50nm), contact us.
Adaptersmount stages together. contact us.**
CustomizationAnything you need? contact us.**
オーバーホール費
¥ 60,000~
※オーバーホール費に交換部品代は含まれません
オプション・グリス交換
クリーングリス交換費( 型式末尾に”-C”が付きます) ¥ 48,000
真空グリス交換費(型式末尾に”-V”が付きます) ¥ 48,000
オプション・モータ交換
同形モータ交換費 ¥ 15,000~
異形モータ交換費 ¥ 36,000~
※モータ交換費に モータ費用は含まれません
 アクセサリ
 アクセサリ スペーサ等のアクセサリについてはこちらをご覧ください
お客様のご要望により製品の改造も承ります。詳しくはお問い合わせください。

Measuring report

ファイルの種類 ファイル名 ファイルのサイズ
(Adobe PDF) XA16F Series 01 532.7 KB

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