自動X/XYステージ

XA10A-R1

価格(JPY)
¥ 170,000
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ステージ結線図

備考・特徴

●精密クロスローラガイドを使用した自動Xステージです。
●送り方式は高分解能の研削ネジを採用。
●本体材質はアルミ白色仕上げ。
●5相ステッピングモータ使用。
●KOSMOSシリーズコントローラのご使用をお勧め致します。
●モータ10本リード線用ケーブルをご使用ください。
メカ仕様
型式XA10A-R1
勝手違いXA10A-R1-R
テーブル面100mm×100mm
案内方式精密クロスローラガイド
移動範囲±12.5mm
送り方式研削ネジ, リード 0.5mm
分解能 フル/ハーフ0.5μm/0.25μm
分解能 マイクロステップ (1/20分割)0.025μm
最高速度2.5mm/sec
累積リード誤差≦8μm/25mm
繰返し位置決め精度≦±0.3μm
ロストモーション≦1μm
水平真直度≦0.5μm/25mm
垂直真直度≦1μm/25mm
バックラッシュ≦0.5μm
モーメント荷重0.02 arcsec/N・cm
水平耐荷重196N (20kgf)
材質アルミ合金
外観白色仕上げ
自重1.8kg
直交度-
電気仕様
使用モータ5相ステッピングモータ (オリエンタルモーター: PX535MH-B) 定格電流 0.75A/相,基本ステップ角 0.36°
コネクタ型式角形20ピン (ヒロセ: PC-1620, P-1620A-STA)
センサ基板型式JH
Options/Accessories
真空up to "ultra heigh vacuum" (UHV), contact us.
Clean room-C Lubricant exchange
Mirror Symmetrysee technical for possibilities, contact us
Motor handleto manually move the stage
Motor typenearly any motor type can be mounted, contact us.
Connector typeexchange to DSub 15 connector, contact us.
Limitdifferent types of optical/mechanical, contact us.
EncoderLinear encoders (up to 50nm), contact us.
Adaptersmount stages together. contact us.**
CustomizationAnything you need? contact us.**
オーバーホール費
¥ 48,000~
※オーバーホール費に交換部品代は含まれません
オプション・グリス交換
クリーングリス交換費( 型式末尾に”-C”が付きます) ¥ 36,000
真空グリス交換費(型式末尾に”-V”が付きます) ¥ 36,000
オプション・モータ交換
同形モータ交換費 ¥ 12,000~
異形モータ交換費 ¥ 30,000~
※モータ交換費に モータ費用は含まれません
 アクセサリ
 アクセサリ スペーサ等のアクセサリについてはこちらをご覧ください
お客様のご要望により製品の改造も承ります。詳しくはお問い合わせください。

Measuring report

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