自動X/XYステージ モンブランシリーズ ※詳細は型式をクリックして下さい
XA16A-R2
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備考・特徴
●生産終了致しました。相当品に関してはお問い合わせください。
●精密クロスローラガイドを使用した自動Xステージです。
●送り方式は耐久性に優れたボールネジを採用。
●本体材質はアルミ白色仕上げ。
●5相ステッピングモータ使用。
●SCシリーズコントローラのご使用をお勧め致します。
※勝手違い型式はXA16A-R2-Rとなります。
●精密クロスローラガイドを使用した自動Xステージです。
●送り方式は耐久性に優れたボールネジを採用。
●本体材質はアルミ白色仕上げ。
●5相ステッピングモータ使用。
●SCシリーズコントローラのご使用をお勧め致します。
※勝手違い型式はXA16A-R2-Rとなります。
メカ仕様
型式 | XA16A-R2 |
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勝手違い | XA16A-R2-R |
テーブル面 | 160×124mm |
案内方式 | 精密クロスローラガイド |
移動範囲 | ±25mm |
送り方式 | ボールネジ リード2.0mm |
分解能 フル/ハーフ | 2μm/step(Half時) |
最高速度 | 20mm/sec |
累積リード誤差 | 10μm以内/50mm |
繰返し位置決め精度 | ±0.2μm以内 (旧規格 ±0.5μm以内) |
ロストモーション | 2μm以内 |
バックラッシュ | 0.5μm以内 (旧規格 1.0μm以内) |
モーメント荷重 | 0.1秒/kgf-cm、ロール剛性 (旧規格 0.3秒/kgf-cm、ロール剛性) |
水平耐荷重 | 30kg |
材質 | アルミ合金 |
外観 | 白色仕上げ |
自重 | 4kg |
電気仕様
使用モータ | 5相ステッピングモータ(オリエンタルモータ)(PK566-B) |
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コネクタ型式 | 角形20ピン PC-1620、P-1620A-STA(ヒロセ) |
Options/Accessories
真空 | up to "ultra heigh vacuum" (UHV), contact us. |
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Clean room | -C Lubricant exchange |
Mirror Symmetry | see technical for possibilities, contact us |
Motor handle | to manually move the stage |
Motor type | nearly any motor type can be mounted, contact us. |
Connector type | exchange to DSub 15 connector, contact us. |
Limit | different types of optical/mechanical, contact us. |
Encoder | Linear encoders (up to 50nm), contact us. |
Adapters | mount stages together. contact us.** |
Customization | Anything you need? contact us.** |
オーバーホール費 |
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~ |
オプション・グリス交換 | |
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クリーングリス交換費( 型式末尾に”-C”が付きます) | ¥ 48,000 |
真空グリス交換費(型式末尾に”-V”が付きます) | ¥ 48,000 |
オプション・モータ交換 | |
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同形モータ交換費 | ~ |
異形モータ交換費 | ~ |
制御装置 | |
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対応コントローラ | 対応するモータコントローラについてはこちらをご覧ください |
対応ドライバ | 対応するモータドライバについてはこちらをご覧ください |
対応ケーブル | 対応するモータケーブルについてはこちらをご覧ください |
アクセサリ | |
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アクセサリ | スペーサ等のアクセサリについてはこちらをご覧ください |