自動X/XYステージ

XA10A-L1

価格(JPY)
¥ 250,000
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ステージ結線図

備考・特徴

●精密リニアガイドを使用した自動Xステージです。
●ロングストロークタイプ。
●送り方式は高分解能の研削ネジを採用。
●5相ステッピングモーター使用。
●KOSMOSシリーズコントローラのご使用をお勧め致します。
●モーター10本リード線用ケーブルをご使用ください。
●2相ステッピングモーター仕様も承ります。[型式] XA10A-L1-BM 追加費用¥40,000
メカ仕様
型式XA10A-L1
勝手違いXA10A-L1-R
テーブル面100mm×100mm
案内方式精密リニアガイド
移動範囲±50mm
送り方式研削ネジ, リード 1.0mm
分解能 フル/ハーフ2μm/1μm
分解能 マイクロステップ (1/20分割)0.1μm
最高速度10mm/sec
累積リード誤差≦20μm/100mm
繰返し位置決め精度≦±0.5μm
ロストモーション≦2μm
水平真直度≦3μm/100mm
垂直真直度≦3μm/100mm
バックラッシュ≦2μm
モーメント荷重0.05 arcsec/N・cm
水平耐荷重196N (20kgf)
材質アルミ合金
外観白色仕上げ
自重3.8kg
直交度-
電気仕様
使用モータ5相ステッピングモーター (オリエンタルモーター: PK566-B)
2相ステッピングモーター(オリエンタルモーター: PK264JDB)
コネクタ型式角形20ピン (ヒロセ: PC-1620, P-1620A-STA)
センサ基板型式F104(INDEX, LIMIT), F105(HOME)
Options/Accessories
真空up to "ultra heigh vacuum" (UHV), contact us.
Clean room-C Lubricant exchange
Mirror Symmetrysee technical for possibilities, contact us
Motor handleto manually move the stage
Motor typenearly any motor type can be mounted, contact us.
Connector typeexchange to DSub 15 connector, contact us.
Limitdifferent types of optical/mechanical, contact us.
EncoderLinear encoders (up to 50nm), contact us.
Adaptersmount stages together. contact us.**
CustomizationAnything you need? contact us.**
オーバーホール費
¥ 48,000~
※オーバーホール費に交換部品代は含まれません
オプション・グリス交換
クリーングリス交換費( 型式末尾に”-C”が付きます) ¥ 36,000
真空グリス交換費(型式末尾に”-V”が付きます) ¥ 36,000
オプション・モータ交換
同形モータ交換費 ¥ 15,000~
異形モータ交換費 ¥ 36,000~
※モータ交換費に モータ費用は含まれません
 アクセサリ
 アクセサリ スペーサ等のアクセサリについてはこちらをご覧ください
お客様のご要望により製品の改造も承ります。詳しくはお問い合わせください。

Measuring report

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