自動X/XYステージ モンブランシリーズ ※詳細は型式をクリックして下さい
XA16A-R101
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備考・特徴
●精密クロスローラガイドを使用した自動Xステージです。
●送り方式は高分解能の研削ネジを採用。Z軸として縦に使用しても落下することがありません。
●5相ステッピングモーター使用。
●KOSMOSシリーズコントローラのご使用をお勧め致します。
●モーター5本リード線用ケーブルをご使用ください。
●2相ステッピングモーター仕様も承ります。(XA16A-R101-BM 追加費用¥40,000)
※2相モーター仕様の場合は、コネクタ型式が変わります。
●送り方式は高分解能の研削ネジを採用。Z軸として縦に使用しても落下することがありません。
●5相ステッピングモーター使用。
●KOSMOSシリーズコントローラのご使用をお勧め致します。
●モーター5本リード線用ケーブルをご使用ください。
●2相ステッピングモーター仕様も承ります。(XA16A-R101-BM 追加費用¥40,000)
※2相モーター仕様の場合は、コネクタ型式が変わります。
メカ仕様
型式 | XA16A-R101 |
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勝手違い | XA16A-R101-R |
テーブル面 | 160mm×124mm |
案内方式 | 精密クロスローラガイド |
移動範囲 | ± 30mm |
送り方式 | 研削ネジ, リード 1.0mm |
分解能 フル/ハーフ | 2μm/1μm |
分解能 マイクロステップ (1/20分割) | 0.1μm |
最高速度 | 10mm/sec ※入力電源AC100V仕様のドライバー使用時 |
累積リード誤差 | ≦10μm/60mm (AVE. 5.24μm/60mm) |
繰返し位置決め精度 | ≦±0.5μm (AVE. ±0.13μm) |
ロストモーション | ≦ 2μm (AVE. 0.89μm) |
水平真直度 | ≦ 1μm/60mm (AVE. 0.26μm/60mm) |
垂直真直度 | ≦ 2μm/60mm (AVE. 0.28μm/60mm) |
バックラッシュ | ≦1μm (AVE. 0.21μm) |
モーメント荷重 | 0.01 arcsec/N・cm (AVE. 0.005 arcsec/N・cm) |
水平耐荷重 | 294N (30kgf) |
材質 | アルミ合金 |
外観 | 白色仕上げ |
自重 | 3.6kg |
直交度 | - |
電気仕様
使用モータ | 5相ステッピングモーター(Oriental Motor:C087Q-9215P) 2相ステッピングモーター(Oriental Motor: PK264JDB) モーター軸径:Φ8mm , オプションハンドル:B type |
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コネクタ型式 | 5相モーター:丸形20ピン (ヒロセ: RP13A-12RA-20PC) 2相モーター:角形20ピン (ヒロセ: PC-1620, P-1620A-STA) |
センサ基板型式 | F-101(HOME, LIMIT) |
オーバーホール費 |
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¥ 60,000~ |
オプション・グリス交換 | |
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クリーングリス交換費( 型式末尾に”-C”が付きます) | ¥ 48,000 |
真空グリス交換費(型式末尾に”-V”が付きます) | ¥ 48,000 |
オプション・モータ交換 | |
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同形モータ交換費 | ¥ 15,000~ |
異形モータ交換費 | ¥ 36,000~ |
制御装置 | |
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対応コントローラ | 対応するモータコントローラについてはこちらをご覧ください |
対応ドライバ | 対応するモータドライバについてはこちらをご覧ください |
対応ケーブル | 対応するモータケーブルについてはこちらをご覧ください |
アクセサリ | |
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アクセサリ | スペーサ等のアクセサリについてはこちらをご覧ください |