自動X/XYステージ モンブランシリーズ  ※詳細は型式をクリックして下さい

YA07A-R1

価格(JPY)
¥ 260,000
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ステージ結線図

備考・特徴

●精密クロスローラガイドを使用した自動Xステージです。
●送り方式は高分解能の研削ネジを採用。
●本体材質はアルミ白色仕上げ。
●5相ステッピングモータ使用。
●KOSMOSシリーズコントローラのご使用をお勧め致します。
●モータ10本リード線用ケーブルをご使用ください。
メカ仕様
型式YA07A-R1
勝手違いYA07A-R1-RRR
テーブル面70mm×70mm
案内方式精密クロスローラガイド
移動範囲±10mm
送り方式研削ネジ, リード 0.5mm
分解能 フル/ハーフ0.5μm/0.25μm
分解能 マイクロステップ (1/20分割)0.025μm
最高速度2.5mm/sec
累積リード誤差≦10μm/20mm
繰返し位置決め精度≦±0.3μm
ロストモーション≦1μm
水平真直度≦0.5μm/20mm
垂直真直度≦1μm/20mm
バックラッシュ≦1μm
モーメント荷重0.31 arcsec/N・cm
水平耐荷重88.2N (9kgf)
材質アルミ合金
外観白色仕上げ
自重1.5kg
直交度≦5μm/20mm
電気仕様
使用モータ5相ステッピングモータ (オリエンタルモーター: PX533MH-B) 定格電流 0.75A/相,基本ステップ角 0.36°
コネクタ型式丸形20ピン (ヒロセ: RP13A-12RA-20PC)
センサ基板型式JH
オーバーホール費
¥ 84,000~
※オーバーホール費に交換部品代は含まれません
オプション・グリス交換
クリーングリス交換費( 型式末尾に”-C”が付きます) ¥ 60,000
真空グリス交換費(型式末尾に”-V”が付きます) ¥ 60,000
オプション・モータ交換
同形モータ交換費 ¥ 24,000~
異形モータ交換費 ¥ 60,000~
※モータ交換費に モータ費用は含まれません
 アクセサリ
 アクセサリ スペーサ等のアクセサリについてはこちらをご覧ください
お客様のご要望により製品の改造も承ります。詳しくはお問い合わせください。

自動X/XYステージ