自動X/XYステージ モンブランシリーズ ※詳細は型式をクリックして下さい
XA16F-L23
本製品をと比較する:
Select a product to compare
備考・特徴
●本体部材質に鉄、送り方式にボールネジを採用することにより高剛性と精密位置決めを同時に実現。
●各種測定機器への利用に最適。
●オプションのテーブル(アルミ)は2種類のマトリックスをご用意。
●モーター10本リード線用ケーブルをご使用ください。
●2相ステッピングモーター仕様も承ります。[型式] XA16F-L23-BM 追加費用¥40,000
●各種測定機器への利用に最適。
●オプションのテーブル(アルミ)は2種類のマトリックスをご用意。
●モーター10本リード線用ケーブルをご使用ください。
●2相ステッピングモーター仕様も承ります。[型式] XA16F-L23-BM 追加費用¥40,000
メカ仕様
型式 | XA16F-L23 |
---|---|
勝手違い | XA16F-L23-R |
テーブル面 | 160mm×160mm |
案内方式 | 精密リニアガイド |
移動範囲 | ±150mm |
送り方式 | ボールネジ, リード 5.0mm |
分解能 フル/ハーフ | 10μm/5μm |
分解能 マイクロステップ (1/20分割) | 0.5μm |
最高速度 | 50mm/sec |
累積リード誤差 | ≦20μm/300mm |
繰返し位置決め精度 | ≦±0.5μm |
ロストモーション | ≦5μm |
水平真直度 | ≦5μm/300mm |
垂直真直度 | ≦5μm/300mm |
バックラッシュ | ≦2μm |
モーメント荷重 | 0.02 arcsec/N・cm |
水平耐荷重 | 392N (40kgf) |
材質 | 鉄 (テーブル: アルミ合金) |
外観 | 黒色仕上げ |
自重 | 18.2kg |
電気仕様
使用モータ | 5相ステッピングモーター (オリエンタルモーター: PK566-B) 2相ステッピングモーター(オリエンタルモーター: PK264JDB) モーター軸径:Φ8mm オプションハンドル: B type |
---|---|
コネクタ型式 | 角形20ピン (ヒロセ: PC-1620, P-1620A-STA) |
センサ基板型式 | F-104(LIMIT), F-105(HOME), F-107(INDEX) |
Options/Accessories
真空 | up to "ultra heigh vacuum" (UHV), contact us. |
---|---|
Clean room | -C Lubricant exchange |
Mirror Symmetry | see technical for possibilities, contact us |
Motor handle | to manually move the stage |
Motor type | nearly any motor type can be mounted, contact us. |
Connector type | exchange to DSub 15 connector, contact us. |
Limit | different types of optical/mechanical, contact us. |
Encoder | Linear encoders (up to 50nm), contact us. |
Adapters | mount stages together. contact us.** |
Customization | Anything you need? contact us.** |
オーバーホール費 |
---|
¥ 84,000~ |
オプション・グリス交換 | |
---|---|
クリーングリス交換費( 型式末尾に”-C”が付きます) | ¥ 60,000 |
真空グリス交換費(型式末尾に”-V”が付きます) | ¥ 60,000 |
オプション・モータ交換 | |
---|---|
同形モータ交換費 | ¥ 15,000~ |
異形モータ交換費 | ¥ 36,000~ |
制御装置 | |
---|---|
対応コントローラ | 対応するモータコントローラについてはこちらをご覧ください |
対応ドライバ | 対応するモータドライバについてはこちらをご覧ください |
対応ケーブル | 対応するモータケーブルについてはこちらをご覧ください |
アクセサリ | |
---|---|
アクセサリ | スペーサ等のアクセサリについてはこちらをご覧ください |
Measuring report
ファイルの種類 | ファイル名 | ファイルのサイズ |
---|---|---|
(Adobe PDF) | XA16F Series 01 | 532.7 KB |