小型自動6軸アライメントユニット

 

SMR-6B2 特徴と採用メリット

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MPS  

【特徴】
一体型の自動XYθステージを採用した6軸ユニットは超小型で省スペース。
 突起部品も少なく、限られる極省スペースへの設置が可能です。
 全ての軸にボールネジを採用することで耐久性アップ。
 剛性を重視した設計、組立て調整を行ない、サブミクロンの精度を実現しています。

【採用メリット】
各種電子部品の生産用/検査装置としてのアライメント(画像処理)として最適。
剛性を高めたステージは、位置決め精度・応答性が良くアライメント時間が短縮されます。
生産タクトタイム・歩留まり率の改善につながります。

 

動画紹介  

製品カタログ

 

製品カタログ

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製品仕様

軸名称 移動範囲 最高速度 分解能(ハーフステップ)
X ±3mm 10mm/sec 1μm
Y
Z ±2.5mm 1.25mm/sec 0.125μm
θx ±5° 11.3°/sec 約0.000378°
θy ±4.5° 8.5°/sec 約0.000282°
θz ±3° 12.7°/sec 0.00127°

 

 

 

他、6軸マニピュレータ  MPSシリーズのご紹介

 

MPS  

【特徴】
剛性を最重要視し、小型化、軽量化を実現。
従来のマニピュレーターの
 高さ 50%ダウン
 幅  40%ダウン
 重量 30%ダウン
 剛性 30%アップ

退避用の軸のストローク変更など
各、ご要望の改造を承ります。

液晶プロジェクタ、CCDカメラの素子を貼付ける際の位置決め、 デバイスの貼り合わせなどの微細な位置決めに最適です。

 

動画紹介  

製品カタログ

 

製品カタログ

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製品仕様

軸名称 移動範囲 最高速度 *1 分解能 *2 ドライバ分割数
X ±5mm 1mm/sec 0.1μm 1/10
Y ±5mm 1mm/sec 0.1μm 1/10
Z ±5mm 10mm/sec 0.1μm 1/10
θx ±3° 3.8°/sec 約0.00038° 1/2
θy ±3° 2.8°/sec 約0.00028° 1/2
θz *3 ±3° 18°/sec 0.0018° 1/4

 

*1 移動範囲は延長することが可能です。

*2 分解能はドライバ分割数の設定によって変更が可能です。

*3 高分解能タイプもございます。

 

軸構成

MPS

寸法図(図をクリックで拡大)

MPS

小型アライメントユニット