6軸マニピュレータ USMシリーズ

USM

超小型6軸マニピュレータ 「USM-R1C-001」

生産装置、分析装置で培ってきたノウハウを凝縮した「KOHZUの6軸」の新提案。

◦高精度・高剛性はそのままに、小型軽量化を実現!
◦全軸ボールネジ駆動により、長寿命!安定した精度を長期間持続し、再現します!


1. 集中コネクタユニット


6軸のモータ、センサー配線が1か所に集約され、面倒な多軸の配線作業を容易にします。
(不要な場合は、取り外しも可能です。)

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2. 小型・軽量


自重(約3kg)が軽いので、高速で稼働する搬送軸への搭載が可能です

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3. 高追従性


直線方向でサブミクロン、角度で秒単位の追従性を有しており、高い精度でで指令値通りの位置決めを完了します。
参考例 スイベルステージの1パルス送りの追従性データです。0.000797degに対して、±0.0002deg以内の誤差に収まっています。

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製品仕様

軸名称 移動範囲 最高速度 最小分解能 ドライバ分割数
X ±3mm 10mm/sec 0.1μm 1/20
Y ±3mm 10mm/sec 0.1μm 1/20
Z ±1.5mm 2.5mm/sec 0.25μm 1/2
θ ±3° 12.7°/sec 0.00127° 1/2
α ±3° 9.6°/sec 約0.00064° 1/2
β ±3° 12°/sec 約0.00079° 1/2

※最小分解能はドライバ分割数の設定によって変更が可能です。


寸法図(図をクリックで拡大)

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製品カタログ

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USMシリーズ