表面形状測定装置 Dyvoce (ダイボス) シリーズ
表面形状測定装置 Dyvoce (ダイボス) シリーズは、被測定ワークに合わせたレーザ変位計を用いる 非接触形状測定システムです。使い易さを追求した機能、シンプルなユーザインタフェースを装備し、高精度ステージメーカならではの高い信頼性とモーションコントロール技術により、様々な測定を可能にします。
自動機 CtoCは、カセット・ツゥ・カセットでの半導体ウェハの表面形状および厚さ測定する装置です。
半導体工程内でのハイスループット測定を実現可能な1台です。 |