高精度小型6軸マニピュレータ [ MPSシリーズ ] MPS-SSSD-B001

MPS

小型6軸マニピュレータ MPSシリーズ(Multi Purpose Stages series)は、小型でありながら高精度・高剛性を実現した6軸マニピュレータです。従来製品(VKM-12)と比較し、高さを50%ダウン、幅を40%ダウン、重量を30%ダウン、剛性を30%アップを実現しました。

また、各軸ともボールネジを採用することで高い耐久性を保持しています。

液晶プロジェクタ、CCDカメラの素子を貼付ける際の位置決め、 デバイスの貼り合わせなどの微細な位置決めに最適です。

 

 

動画紹介



 

仕様

 

軸名称 移動範囲 最高速度 *1 分解能 *2 ドライバ分割数
X ±5mm 1mm/sec 0.1μm 1/10
Y ±5mm 1mm/sec 0.1μm 1/10
Z ±5mm 10mm/sec 0.1μm 1/10
θx ±3° 3.8°/sec 約0.00038° 1/2
θy ±3° 2.8°/sec 約0.00028° 1/2
θz ±3° 18°/sec 0.0018° 1/4

 

 

*1 移動範囲は延長することが可能です。

*2 分解能はドライバ分割数の設定によって変更が可能です。

     高分解能タイプもございます。

軸構成

MPS

寸法図(図をクリックで拡大)

MPS

 

【製品カタログ】(画像をクリックでダウンロード)

 

 製品カタログ

小型6軸マニピュレータ