真空回転ステージ

MVRA07A-W

価格(JPY)
¥
お見積もり
数量
本製品をと比較する:
図面閲覧
図面ダウンロード
ステージ結線図

備考・特徴

●精密ベアリングを使用した、ウォーム&ウォームホイール式の真空対応自動回転ステージです。
●真空対応5相ステッピングモーター使用。
メカ仕様
型式MVRA07A-W
テーブル面φ68mm
案内方式アンギュラベアリング
回転範囲±135°
送り方式ウォーム&ウォームホイール
分解能 フル/ハーフ0.008°/0.004°
分解能 マイクロステップ (1/20分割)0.0004°
最高速度20°/sec
累積誤差≦0.015°/360°
ロストモーション≦0.006°
角度再現性≦0.01°
ピッチ誤差≦0.01°/4°
バックラッシュ≦0.005°
面振れ≦20μm/360°
偏心≦10μm/360°
モーメント荷重0.71 arcsec/N・cm
水平耐荷重58.8N (6kgf)
材質アルミ合金
自重1.1kg
電気仕様
使用モータ真空5相ステッピングモーター 定格電流 1.4A/相,基本ステップ角 0.72°
コネクタ型式真空用 D-sub 9ピン (Accu-Glass Products: 9D-HVCP)
オーバーホール費
~
※オーバーホール費に交換部品代は含まれません
オプション・グリス交換
クリーングリス交換費( 型式末尾に”-C”が付きます)
真空グリス交換費(型式末尾に”-V”が付きます)
オプション・モータ交換
同形モータ交換費 ~
異形モータ交換費 ~
※モータ交換費に モータ費用は含まれません

関連情報

精度検査は大気中で行なっています。又、ベーキングには対応しておりません。 ベーキング対応製品は弊社営業部までお問合せ下さい

真空対応ステージの技術情報についてはこちらをご覧ください。

真空回転ステージ