真空X/XYステージ

MVXA10A-R1

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ステージ結線図

備考・特徴

●精密クロスローラガイドを使用した真空対応自動Xステージです。
●送り方式は高分解能の研削ネジを採用。
●真空対応5相ステッピングモーター使用。
メカ仕様
型式MVXA10A-R1
テーブル面100mm×100mm
案内方式精密クロスローラガイド
移動範囲±12.5mm
送り方式研削ネジリード0.5mm
分解能 フル/ハーフ1μm/0.5μm
分解能 マイクロステップ (1/20分割)0.05μm
最高速度2.5mm/sec
累積リード誤差≦8μm/25mm
繰返し位置決め精度≦±0.5μm
ロストモーション≦1μm
水平真直度≦1μm/25mm
垂直真直度≦1μm/25mm
バックラッシュ≦0.5μm
モーメント荷重0.05 arcsec/N・cm
水平耐荷重196N (20kgf)
材質アルミ合金
自重1.8kg
電気仕様
使用モータ真空5相ステッピングモーター 定格電流 1.4A/相,基本ステップ角 0.72°
コネクタ型式真空用 D-sub 9ピン (Accu-Glass Products: 9D-HVCP)
オーバーホール費
~
※オーバーホール費に交換部品代は含まれません
オプション・グリス交換
クリーングリス交換費( 型式末尾に”-C”が付きます)
真空グリス交換費(型式末尾に”-V”が付きます)
オプション・モータ交換
同形モータ交換費 ~
異形モータ交換費 ~
※モータ交換費に モータ費用は含まれません

関連情報

精度検査は大気中で行なっています。又、ベーキングには対応しておりません。 ベーキング対応製品は弊社営業部までお問合せ下さい

真空対応ステージの技術情報についてはこちらをご覧ください。

真空X/XYステージ