真空X/XYステージ
MVXA10A-R102
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備考・特徴
●精密クロスローラガイドを使用した真空対応自動Xステージです。
●送り方式は高分解能の研削ネジを採用。
●真空対応5相ステッピングモーター使用。
●送り方式は高分解能の研削ネジを採用。
●真空対応5相ステッピングモーター使用。
メカ仕様
型式 | MVXA10A-R102 |
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テーブル面 | 100mm×100mm |
案内方式 | 精密クロスローラガイド |
移動範囲 | ± 12.5mm |
送り方式 | 研削ネジリード0.5mm |
分解能 フル/ハーフ | 1μm/0.5μm |
分解能 マイクロステップ (1/20分割) | 0.05μm |
最高速度 | 2.5mm/sec |
累積リード誤差 | ≦ 8μm/25mm |
繰返し位置決め精度 | ≦±0.5μm |
ロストモーション | ≦ 1μm |
水平真直度 | ≦ 1μm/25mm |
垂直真直度 | ≦ 1μm/25mm |
バックラッシュ | ≦0.5μm |
モーメント荷重 | 0.02 arcsec/N・cm |
水平耐荷重 | 196N (20kgf) |
材質 | アルミ合金 |
自重 | 1.8kg |
電気仕様
使用モータ | 真空5相ステッピングモーター 定格電流 1.4A/相,基本ステップ角 0.72° |
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コネクタ型式 | 真空用 D-sub 9ピン (Accu-Glass Products: 9D-HVCP) |
オーバーホール費 |
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~ |
オプション・グリス交換 | |
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クリーングリス交換費( 型式末尾に”-C”が付きます) | |
真空グリス交換費(型式末尾に”-V”が付きます) |
オプション・モータ交換 | |
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同形モータ交換費 | ~ |
異形モータ交換費 | ~ |