位置決めステージについて

クリーンルーム内での使用は可能でしょうか?

潤滑剤をクリングリス(NSK製LG2)に交換することで、発塵量を抑えることが出来ます。標準ステージ型式の後に「-C」を付けることでクリングリス仕様のステージをご発注頂くことが可能です。
注) クリングリスはクリーン度を保証するものではありません。

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