真空対応ステージ

1 真空到達圧力はどのくらいまで対応していますか。

真空到達圧力は、チャンバー容積、内容物の材料、表面積、排気速度、コンダクタンスなど、
ステージ以外の環境に依存するところが大きいため、ステージ性能として真空到達圧力を保証することは出来ません。
また、モーター静止状態と回転状態とでも大きく変わります。
一般的に、真空製品は放出ガス速度(Pa・m3/sec)から、求める真空度に到達可能かを計算します。
弊社真空ステージの放出ガス速度については、真空対応ステージページを参照下さい。
参考までに、通常の中・高真空に配慮された環境ならば1×10-3Paならばまず問題なく到達します。
さらに環境によっては10-5Pa台での実績もございます。
尚、MVシリーズはベーキングには対応しておりませんので、ご注意下さい