モーメント荷重(ロール剛性)
テーブルをORG位置または移動範囲の中央に止め、テーブルの中心から20㎝離して500gの荷重をかけた際に、テーブル上面が変化した角度をモーメント荷重としています。 (距離と荷重の比率はステージの大きさにより異なります。単位はarcsec / N・cm) |
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テーブルをORG位置または移動範囲の中央に止め、テーブルの中心から20㎝離して500gの荷重をかけた際に、テーブル上面が変化した角度をモーメント荷重としています。 (距離と荷重の比率はステージの大きさにより異なります。単位はarcsec / N・cm) |
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