回転ステージ / その他の検査規定
自動回転ステージ(θステージ)の累積誤差、ロストモーション、角度再現性及びピッチ誤差の精度検査は、エンコーダ(下図)を用いて検査を実施しています。
|
<累積誤差> 任意の位置を基準点と定め、基準点から一方向に一定間隔で順次位置決めを行い、それぞれの位置決め地点での測定値(基準点から実際に移動した位置)と指令値(指令した実際に移動すべき位置)との差を360°で測定し、その最大差を累積誤差としています(左図の△L)。 |
<ロストモーション> 任意の位置を基準点と定め、基準点から一方向に一定間隔で順次位置決めを行い1回転測定したあと、反転させ同様に基準点まで測定します。 |
<角度再現性> 任意の位置を基準点と定め、基準点から一方向に一定間隔で順次位置決めを行い1回転目を測定したあと、反転させ基準点まで戻します。 |
<ピッチ誤差> 任意の位置を基準点と定め、基準点から一方向に一定間隔で順次位置決めを行い、それぞれの位置決め地点での測定値(基準点から実際に移動した位置)と指令値(指令した実際に移動すべき位置)との差をウォームホイールの1歯(ウォーム軸1回転)分の範囲で測定し、その最大差をピッチ誤差としています。 |
<面振れ> テーブルを1回転させ、上面の外周付近で上下方向の変位を測定し、その最大差を面振れとしています。 |
<偏心> テーブルを1回転させ、回転軸の水平方向の変位を測定し、その測定値の最大差を偏心としています。 |