回転ステージ / その他の検査規定

自動回転ステージ(θステージ)の累積誤差、ロストモーション、角度再現性及びピッチ誤差の精度検査は、エンコーダ(下図)を用いて検査を実施しています。

 

手動自動回転ステージ

 

<累積誤差>

任意の位置を基準点と定め、基準点から一方向に一定間隔で順次位置決めを行い、それぞれの位置決め地点での測定値(基準点から実際に移動した位置)と指令値(指令した実際に移動すべき位置)との差を360°で測定し、その最大差を累積誤差としています(左図の△L)。

累積誤差

 

<ロストモーション>

任意の位置を基準点と定め、基準点から一方向に一定間隔で順次位置決めを行い1回転測定したあと、反転させ同様に基準点まで測定します。
それぞれの位置決め地点での往路と復路の位置の最大差をロストモーションとしています。
※ Xステージのロストモーションと定義が異なります。

ロストモーション

 

<角度再現性>

任意の位置を基準点と定め、基準点から一方向に一定間隔で順次位置決めを行い1回転目を測定したあと、反転させ基準点まで戻します。
その後、更に反転させ1回転目と同様に2回転目の測定を行います。
それぞれの位置決め地点での1回転目と2回転目の最大差を角度再現性としています。

角度再現性

 

<ピッチ誤差>

任意の位置を基準点と定め、基準点から一方向に一定間隔で順次位置決めを行い、それぞれの位置決め地点での測定値(基準点から実際に移動した位置)と指令値(指令した実際に移動すべき位置)との差をウォームホイールの1歯(ウォーム軸1回転)分の範囲で測定し、その最大差をピッチ誤差としています。

ピッチ誤差

 

<面振れ[社内規定]>

テーブルを1回転させ、上面の外周付近で上下方向の変位を測定し、その最大差を面振れとしています。

面振れ

 

<偏心[社内規定]>

テーブルを1回転させ、回転軸の水平方向の変位を測定し、その測定値の最大差を偏心としています。

面振れ