手動ステージ共通ガイダンス

アクチュエータ

マイクロメータヘッド マイクロメータヘッド マイクロメータヘッドは、精密に位置を決めるための器具で、研削加工されたネジと雌ネジで構成されています。スリーブの目盛とシングルのバーニア目盛を組み合わせることで、10μm単位までの位置読みとりが可能です。
精密ポジショナー 精密ポジショナー 精密ポジショナーは、精密位置決め用に開発されたアクチュエータです。送り方式は研削ネジを利用した粗動と、弾性ヒンジを利用した微動から成り立ちます。弾性ヒンジ構造の採用でネジの噛み合わせによるバックラッシュを無くし、50nm程度の感度で位置決め調整ができます
ハンドル ハンドル 弊社独自のハンドルです。1周25分割の目盛が付いたもの、及び目盛の無いものの2種類があります。

アクチュエータ仕様一覧

 名称  型式  移動範囲  最小読取  ネジピッチ (mm/p)   最大軸方向負荷 (N/kgf) 
 マイクロメータヘッド  MHT4-6.5   ±3.25mm   10μm   0.5mm/p 
 MHS4-13   ±6.5mm   10μm   0.5mm/p 
 MHM1-15   ±6.5mm   5μm   0.5mm/p 
 MHN4-25T   ±12.5mm   10μm   0.5mm/p 
 精密ポジショナー
(粗微動)
 FPPO3-13    粗動   ±6.5mm    10μm   0.5mm/p   49N/5kgf 
  微動  ±150μm    0.5μm (感度 50nm)  - 

クランプ

ディスククランプ ディスククランプ ステンレス板のディスクを2枚の平板で挟み込むタイプのクランプです。クランプ時の位置ずれを数μm以下に抑えます。
板ばねクランプ 板バネクランプ ゴシックアーク、Zステージ、スイベルステージに使用されています。板バネをクランプネジで移動体に押しつけて、移動体をクランプします。
回転ステージのクランプ 回転ステージのクランプ 回転ステージには、2つのクランプが取り付いています。ひとつは粗動の動きを固定するクランプと、もうひとつはマイクロメータヘッドによって押されるバーを反対側から押さえつける微動クランプがあります(精密ポジショナー付回転ステージには、精密ポジショナーが破損する恐れがあるので附属致しません)。
ハンドルクランプ ハンドルクランプ ハンドル付Zステージに使用されています。ハンドルの回転を防止します。

オプショングリス交換

ご要望に応じてステージのレール面に使用するグリスをクリーン対応グリス、または真空対応グリスに変更いたします。


* グリス以外の部品、表面処理、組み立て環境は標準と同じです。
* オプショングリス交換は、クリーン環境、真空環境でのご使用を保障するものではありません。
●クリーングリス:LG2 日本精工社製
〔ねじやベアリングの回転時にも発塵量を少なく保つ効果があります。〕
● 真空対応グリス:フォンブリンYH-VAC140/13 ソルベイソレクシス
〔高い真空環境を汚染しにくい、飽和蒸気圧の低いグリスです。〕
* 標準グリスと粘性が異なるため、標準品とは感触が異なることがあります。
* お客様ご指定のグリスも対応可能です(グリス代は別途費用となります)。
●グリス交換箇所
1. 案内部:ボールレースと円筒コロ摺動面、クロスローラベアリング。
2. 送り機構部:ウォーム&ウォームホイル、クサビ部、ラック&ピニオン部。
3. マイクロメータヘッド(精密ポジショナーFPP03-13を除く)。

真空の区分と圧力範囲

 区分   圧力範囲(Pa)   圧力範囲(Torr) 
 低真空   100kPa~100Pa   760~1 Torr 
 中真空   100Pa~0.1Pa   1~10-3 Torr 
 高真空   0.1Pa~10-5 Pa   10-3 Torr~10-7Torr 
 超高真空   10-5Pa~10-8 Pa   10-7 Torr~10-10 Torr 
 極高真空   ≦10-8 Pa   <10-10 Torr 

真空単位換算表

      〔Torr〕   〔atm〕   〔kgf/㎠〕   〔psi〕   〔Pa〕 
 1Torr=1㎜Hg   1   1.31579×10-3   1.35951×10-3   1.9337×10-2   1.33322×102 
 1atm   760   1   1.03323   1.4695×10   1.01325×105 
 1kgf/㎠   7.3556×102   9.6784×10-1   1   1.4223×10   9.80665×104 
 1psi   5.1715×10   6.8046×10-2  7.0307×10-2   1   6.8948×103 
 1Pa(=1N/㎡)   7.5006×10-3   9.8692×10-6   1.01972×10-5   1.4503×10-4   1 

ステージ取付方法

ステージ取付方法
ステージを他のステージや定盤に組み付ける際は、テーブル面をずらすか、マイクロメータヘッドを十分に回転させてから行なって下さい。また、ステージの取り付け穴位置を合わせるために、各種スペーサをご用意してありますのでご利用下さい。
* テーブル面を戻す際に、バネの反動により深刻な障害を起こす恐れがありますので注意して作業を行なって下さい。

ザグリ穴の首下寸法について

カタログ図面ではステージ取り付けの際に用いるザグリ穴の首下寸法を、「Shaft Length ** mm」と表記します(下図、左)。ザグリ穴が無く直接ネジを取り付ける場合はこの表記がなく、板厚が首下寸法となります(下図、右)。
ザグリ穴