手動回転ステージガイダンス

スペック表の見方

RM07A-C1
RM07A-C1
 スペック表 説明
 型式  RM07A-C1   ① 型式の名称。
 勝手違い型式  RM07A-C1-R   ② 型式①に対する逆勝手仕様の型式です。
 テーブル面  Φ68mm   ③ ステージ上面の大きさ。
 案内方式  クロスローラベアリング  ④ ステージの案内方式を示します。
 回転範囲  粗動  360°   ⑤ 粗動で回転出来るテーブルの範囲を示します。
 微動  ±3°   ⑥ 中心点を基準としてプラス、マイナスで表示します。 
 偏心  15μm/360°   ⑦ ステージを回転したときの回転中心のズレ量。
 面振れ  15μm/360°   ⑧ ステージを回転したときのステージ面の垂直方向の揺れ量。
 最小読み取り  テーブル  1°/目盛
 マイクロ  0.013°/目盛  ⑩ マイクロメータヘッド、バーニア目盛等で読み取ることができる最小値です。
 モーメント荷重  0.31 arcsec/N・cm   ⑪ ステージがモーメント荷重を受けた時の傾斜角度です。
 水平耐荷重  98N(10kgf)   ⑫ ステージ中央での搭載可能重量。
 材質  アルミ合金  ⑬ 主に使用されている材料を示します。
 外観  白色仕上げ  ⑭ 外観の色や表面処理を示します。 
 自重  0.42kg   ⑮ 製品の重量。 
 駆動方式  マイクロメータヘッド(6.5mm)  ⑯ 使用されているアクチュエータの型式と移動量を示します。
 価格  ¥62,000   ⑰ 標準製品の価格を示します。
 オーバーホール費 ※  ¥21,000 〜   ⑱ オーバーホールの費用を示します。
 クリーングリス交換費  ¥15,000   ⑲ クリーングリスへの交換費用を示します。
 真空グリス交換費  ¥15,000   ⑳ 真空グリスへの交換費用を示します。

※ オーバーホール費に部品代は含まれません。

※ マイクロメータヘッドはオーバーホール対象外となります。

●粗動クランプの取り扱いについて

粗動クランプの推奨締め付けトルクは下記の通りになります。
RM05A〜RM07A:1.5kg-cm
RM10A〜RM16A:2kg-cm
粗動クランプを締めすぎると、動作に支障をきたす場合がありますのでご注意下さい。

 

回転ステージのクランプ
クランプ 回転ステージには、2つのクランプが取り付いています。ひとつは粗動の動きを固定するクランプと、もうひとつはマイクロメータヘッドによって押されるバーを反対側から押さえつける微動クランプがあります(精密ポジショナー付回転ステージには、精密ポジショナーが破損する恐れがあるので附属致しません)。

案内方式

●クロスローラベアリング

クロスローラベアリングとは、90°のV溝を持つローラレースと円筒コロからなる案内方式です(図-1参照)。ローラレースの摺動面は、焼入れ研磨されて摺動面の平面度の精度が高く硬質に仕上げられています。円筒コロはこの2本のローラレースに挟まれた空間に互い違いに配置されています。ステージが駆動する際には、ローラレース上を複数の円筒コロが転がるため、停止時から起動時への摩擦の変化(静止摩擦と動摩擦の差)が小さく、作動すべりが起こりにくくなっています。また、クロスローラベアリングは、線接触で荷重を支えるため、ボールガイド機構よりも剛性が高くなっています。 クロスローラベアリング

 

●アリ摺動(すり合わせ)

アリ摺動とは、接触する2つの面からなる案内方式です(図-2)。固定面と移動面が摺動するため、機構を簡素化することができ、隙間に汚れが入りにくい構造です。また支える接触面積が大きいため、衝撃荷重や大きな荷重に耐えることができます。 アリ摺動

移動量

角度の微調整は、ステージに取り付けたバーをマイクロメータヘッドで押すことにより行います。送り角度は、レバーの支点から力点、作用点までの距離や先端の球面の形状によって変わりますが、中心付近では下記のような計算式となります。

 

θ = tan-1(t / R ) 


R:回転中心から力点までの距離(mm)
t :マイクロメータヘッドの中立点からの距離