自動ステージ共通ガイダンス

自動ステージを駆動させるには、ドライバ内蔵のモータコントローラかステッピングモータドライバが必要となります。

基本システム構成

オプション

●モータ交換について
 ご要望に応じて、標準モータからご指定のモータに変更することが可能です。
* 交換モータの仕様によってはカタログスペックを満たせない事もあります。
* ステッピングモータ以外への交換の場合は、標準モータでの精度検査のみ行います。
●交換費用
① 同形モータ交換費:標準モータと同等の取り付けサイズのステッピングモータの場合。
② 異形モータ交換費:標準モータと取り付けサイズが異なる場合。
*交換費用にはモータ費用は含まれておりませんので、お客様のご支給以外の場合は別途モータ費用が加算されます。
*異型モータ交換費は、モータ部円盤(ORG)無しの想定となっております。必要な場合は別途追加費用が加算されます。
(ORG機能は本体部のNORGをORGとして使用します)
*異形モータ変更費は、モータの形状により別途費用が発生することがあります。必ずご検討モータの型式をご連絡願います。

グリス交換

ご要望に応じてステージのレール面に使用するグリスをクリーン対応グリス、または真空対応グリスに変更いたします。
* グリス以外の部品、表面処理、組み立て環境は標準と同じです
* オプショングリス交換は、クリーン環境、真空環境でのご使用を保障するものではありません。
●クリーングリス:LG2 日本精工社製
〔ネジやベアリングの回転時にも発塵量を少なく保つ効果があります。〕
● 真空対応グリス:フォンブリンYH-VAC140/13 ソルベイソレクシス
〔真空環境を汚染しにくい、飽和蒸気圧の高いグリスです。コンタミを気にしない場合や、ロータリポンプで引くHe置換の場合などに利用可能です。放出ガスや真空中でのモータ耐久性において、よりクリーンで高真空に適した専用ラインナップも取り揃えております。詳しくはL-002ページをご参照下さい。〕
* 標準グリスと粘性が異なるため、標準品とは感触が異なることがあります。
* お客様ご指定のグリスも対応可能です。(グリス代は別途費用となります)
●グリス交換箇所
1. 案内部:ボールレースと円筒コロ摺動面、リニアガイド、クロスローラーベアリング
2. 送り機構部:研削ネジ、ボールネジ、ウォーム&ウォームホイル、クサビ部、ラック&ピニオン部。
3.ベアリング部
*モータ内部のグリスについては交換出来ません。
*リニアガイド、ボールネジについては社内簡易洗浄でのグリス交換となります。
*リニアガイド及びボールネジのメーカー戻しグリス交換は別途費用になります。

オプショングリス交換

ご要望に応じてステージのレール面に使用するグリスをクリーン対応グリス、または真空対応グリスに変更いたします。


* グリス以外の部品、表面処理、組み立て環境は標準と同じです。
* オプショングリス交換は、クリーン環境、真空環境でのご使用を保障するものではありません。
●クリーングリス:LG2 日本精工社製
〔ねじやベアリングの回転時にも発塵量を少なく保つ効果があります。〕
● 真空対応グリス:フォンブリンYH-VAC140/13 ソルベイソレクシス
〔高い真空環境を汚染しにくい、飽和蒸気圧の高いグリスです。〕
* 標準グリスと粘性が異なるため、標準品とは感触が異なることがあります。
* お客様ご指定のグリスも対応可能です(グリス代は別途費用となります)。
●グリス交換箇所
1. 案内部:ボールレースと円筒コロ摺動面、クロスローラベアリング。
2. 送り機構部:ウォーム&ウォームホイル、クサビ部、ラック&ピニオン部。
3. マイクロメータヘッド(精密ポジショナーFPP03-13を除く)。

真空の区分と圧力範囲

 区分   圧力範囲(Pa)   圧力範囲(Torr) 
 低真空   100kPa~100Pa   760~1 Torr 
 中真空   100Pa~0.1Pa   1~10-3 Torr 
 高真空   0.1Pa~10-5 Pa   10-3 Torr~10-7Torr 
 超高真空   10-5Pa~10-8 Pa   10-7 Torr~10-10 Torr 
 極高真空   ≦10-8 Pa   <10-10 Torr 

真空単位換算表

      〔Torr〕   〔atm〕   〔kgf/㎠〕   〔psi〕   〔Pa〕 
 1Torr=1㎜Hg   1   1.31579×10-3   1.35951×10-3   1.9337×10-2   1.33322×102 
 1atm   760   1   1.03323   1.4695×10   1.01325×105 
 1kgf/㎠   7.3556×102   9.6784×10-1   1   1.4223×10   9.80665×104 
 1psi   5.1715×10   6.8046×10-2  7.0307×10-2   1   6.8948×103 
 1Pa(=1N/㎡)   7.5006×10-3   9.8692×10-6   1.01972×10-5   1.4503×10-4   1 

ステージ取付方法

ステージ取付方法
ステージを他のステージや定盤に組み付ける際は、テーブル面をずらすか、マイクロメータヘッドを十分に回転させてから行なって下さい。また、ステージの取り付け穴位置を合わせるために、各種スペーサをご用意してありますのでご利用下さい。
* テーブル面を戻す際に、バネの反動により深刻な障害を起こす恐れがありますので注意して作業を行なって下さい。

ザグリ穴の首下寸法について

カタログ図面ではステージ取り付けの際に用いるザグリ穴の首下寸法を、「Shaft Length ** mm」と表記します(下図、左)。ザグリ穴が無く直接ネジを取り付ける場合はこの表記がなく、板厚が首下寸法となります(下図、右)。
ザグリ穴