自動回転ステージガイダンス

スペック表の見方

RA07A-W
RA07A-W
 スペック表  説明
 型式  RA07A-W   ① 型式の名称です。
 テーブル面  Φ68mm   ② ステージ上面の大きさです。
 案内方式  ベアリング  ③ ステージの案内方式です。
 回転範囲  ±135°   ④ 中心点を基準としてプラス、マイナスで表示します。 
 送り方式  ウォーム&ウォームホイール  ⑤ ステージの送り方式です。
 分解能  フル/ハーフ ステップ  0.004°/0.002°   ⑥ マイクロステップ分割数の違いによる、ステージの各分解能です。 
 マイクロステップ(1/20分割)  0.0002° 
 最高速度  20°/sec   ⑦ ステージが動作できる最高速度(ハーフステップ、10kpps時)です。
 累積誤差  ≦0.015°/360°   ⑧ 検査方法を参照して下さい。
 ロストモーション  ≦0.006°   ⑨ 検査方法を参照して下さい。
 角度再現性  ≦0.003°   ⑩ 検査方法を参照して下さい。
 ピッチ誤差  ≦0.01°/4°   ⑪ 検査方法を参照して下さい。
 バックラッシュ  ≦0.001°   ⑫ 検査方法を参照して下さい。
 面振れ  ≦20μm/360°   ⑬ 検査方法を参照して下さい。
 偏心  ≦10μm/360°   ⑭ 検査方法を参照して下さい。
 モーメント荷重  0.51 arcsec/N・cm   ⑮ ステージがモーメント荷重を受けた時の傾斜角度です。
 水平耐荷重  58.8N(6kgf)  ⑯ ステージ中央での搭載可能重量です。 
 材質  アルミ合金  ⑰ 主に使用されている材料を示します。 
 外観  白色仕上げ  ⑱ 外観の色や表面処理を示します。
 自重  1.65kg   ⑲ 製品の重量です。
 モータ  5相ステッピングモータ(オリエンタルモーター: PX535MH-B)定格電流 0.75A/相,基本ステップ角 0.36°  ⑳ 使用されているアクチュエータの型式を示します。 
 コネクタ  丸形20ピン(ヒロセ: RP13A-12RA-20PC)   ステージに使用されているコネクタの形状とピン数です。
 ステージ結線タイプ  JH-R    ステージとステッピングモータ及び、フォトセンサとの結線形式です。
 価格  ¥205,000    標準製品の価格を示します。 
 オーバーホール費 ※  ¥48,000 〜     オーバーホールの費用を示します。 
 クリーングリス交換費  ¥36,000    クリーングリスへの交換費用を示します。
 真空グリス交換費  ¥36,000    真空グリスへの交換費用を示します。
 同形モータ交換費  ¥12,000 〜     標準モータと取り付けサイズが同等のモータへの交換費用を示します。
 異形モータ交換費  ¥30,000 〜     標準モータと取り付けサイズが異なるモータへの交換費用を示します。

※ オーバーホール費に部品代は含まれません。

 

案内方式

●アンギュラベアリング

アンギュラベアリングとは接触角を持ったベアリングで、一方向のアキシアル荷重または合成荷重を受けるのに適しています(図-1参照)。案内方式としてこのベアリングを用いる際は、対向方向に向かい合わせて使用しています。それにより、ラジアル方向とアキシアル方向の両方の荷重に対して剛性を持たせることが出来ます アンギュラベアリング

 

●クロスローラベアリング

クロスローラベアリングとは、90°のV溝を持つローラレースと円筒コロからなる案内方式です(図-2参照)。ローラレースの摺動面は、焼入れ研磨されて摺動面の平面度の精度が高く硬質に仕上げてあります。円筒コロはこの2本のローラレースに挟まれた空間に互い違いに配置されています。ステージが駆動する際には、ローラレース上を複数の円筒コロが転がるため、停止時から起動時への摩擦の変化(静止摩擦と動摩擦の差)が小さく、作動すべりが起こりにくくなっています。また、クロスローラベアリングは、線接触で荷重を支えるため、ボールガイド機構よりも剛性が高くなっています。 クロスローラベアリング

送り方式

●ウォーム&ウォームホイール

ウォーム&ウォームホイールは、高い精度で研削加工されたウォームホイールと精密研磨加工されたウォームから構成されています(図-3参照)。 ウォーム&ウォームホイール

分解能

       
RA-05A-W, RA-07A-W, RA-10A-W, RA-16A-Wステージの分解能は、以下の計算から求められます。

 

       

 ΔΘ = Δθ / n・m

     

ΔΘ: 分解能
        Δθ: モータの基本ステップ角
        n: ウォーム&ウォームホイールの減速比
    m: マイクロステップの分割数

 

●タンジェントバー方式(ボールネジ)

       
回転軸から伸びたバーの先端にボールネジで接線方向に直線変位を与えることで回転運動を作っています。回転範囲は狭くなりますが、高分解能と耐久性の両立を兼ね備えています。

分解能

       
RA10A-T(タンジェントバー方式ステージ)ステージの分解能は、以下の計算から求められます。

 

       

 ΔΘ =sin-1 (Δθ・P / 360・R・m)

     

ΔΘ: 分解能
        Δθ: モータの基本ステップ角
        P : ボールネジのピッチ
        R : タンジェントバーの長さ(mm)
        m : マイクロステップの分割数
        RA10A-Tの場合、R=108mmです。
    注) 原点(0°)からの計算式です。

最高速度

最高速度は、高速域でのモータとドライバのトルク特性に依存しますが、弊社ではドライバをハーフステップに設定し、10kpps で動作させたときの速度として定義しています。

ステージ結線表

 型式  結線タイプ  センサ  モータ/定格電流値  基本ステップ角  コネクタ形状
 RA04A-W   M2-5C   F-113   PK524HPMB/0.75A   0.36°   丸形20ピン
 RA05A-W   K1,H3   F-105/F-107   PX535MH-B/0.75A   0.36°   丸形20ピン
 RA05A-W-R   K1,H3   F-105/F-107   PX535MH-B/0.75A   0.36°   丸形20ピン
 RA07A-W   JH-R   F-101/F-107   PX535MH-B/0.75A   0.36°   丸形20ピン
 RA07A-W-R   JH-R   F-101/F-107   PX535MH-B/0.75A   0.36°   丸形20ピン
 RA10A-T   GH   F-106/F-107   PX535MH-B/0.75A   0.36°   角形20ピン
 RA10A-T-R   RGH   F-106R/F-107   PX535MH-B/0.75A   0.36°   角形20ピン
 RA10A-W   JH   F-101/F-107   PK545-B/0.75A   0.72°   角形20ピン
 RA10A-W-R   JH   F-101/F-107   PK545-B/0.75A   0.72°   角形20ピン
 RA16A-W   JH   F-101/F-107   PK566-B/0.75A   0.72°   角形20ピン
 RA16A-W-R   JH   F-101/F-107   PK566-B/0.75A   0.72°   角形20ピン
 RA16A-WH   GH-R   F-106/F-107   PK545-B/0.75A   0.72°   角形20ピン
 RA20A-W   JH   F-101/F-107   PK566-B/0.75A   0.72°   角形20ピン
 RA20A-W-R   JH   F-101/F-107   PK566-B/0.75A   0.72°   角形20ピン
 RA30A-W   JK   F-101/F-104   PK596-B/1.4A   0.72°   角形20ピン

※ 「勝手違い型式」により結線タイプの異なる機種は、セルが黄色になっております。