真空対応ステージの結線

接続構成例

 接続構成例

 

ステージをコントローラに接続するには、以下のケーブルなどが必要になります。
①真空対応ケーブル(ステージから電流導入端子)
② モータケーブル(電流導入端子大気側からモータコントローラ)
③真空導入端子

 

 名称  写真  型式  長さ  備考
 ①真空対応ケーブル HVB  HVB-R9-192SC   0.48m(19"inch)   Teflonの被覆線とDAP素材のコネクタを組み合わせたものを使用しています。
 HVB-R9-392SC   0.99m(39"inch) 
KAP  KAP-R9-192SC   0.48m(19"inch)   Kaptonの被覆線とPEEK素材のコネクタを組み合わせたものを使用しています。
 KAP-R9-392SC   0.99m(39"inch) 
 ②大気用ケーブル CD  C9DAKM-030   3m (118"inch)   D-Subタイプコネクタとモータコントローラ
KOSMOSシリーズを接続するケーブルです。
C9DAKM-050   5m (196"inch) 
③電流導入端子 9D-275 9D-275 D-Subタイプコネクタを採用しています。導入端子は、真空側・大気側ともオスになっています。フランジ規格はICF70です。

 

なおご要望に応じてステージのコネクタも以下のように変更できます。
1. ケーブル直出し(ケーブル長最長2m)(配線色は、結線例を参照)
2.ターミナル(結線をターミナルに取付)
詳しくは営業部までお問い合わせ下さい。

 

 

 

結線例

結線例

※旧タイプはオレンジ色です