真空対応ステージの結線
接続構成例
ステージをコントローラに接続するには、以下のケーブルなどが必要になります。 ①真空対応ケーブル(ステージから電流導入端子) ② モーターケーブル(電流導入端子大気側からモーターコントローラ) ③真空導入端子 |
名称 | 写真 | 型式 | 長さ | 備考 |
①真空対応ケーブル | HVB-R9-192SC | 0.48m(19"inch) | Teflonの被覆線とDAP素材のコネクタを組み合わせたものを使用しています。 | |
HVB-R9-392SC | 0.99m(39"inch) | |||
KAP-R9-192SC | 0.48m(19"inch) | Kaptonの被覆線とPEEK素材のコネクタを組み合わせたものを使用しています。 | ||
KAP-R9-392SC | 0.99m(39"inch) | |||
②大気用ケーブル | C9DAKM-030 | 3m (118"inch) | D-Subタイプコネクタとモーターコントローラ KOSMOSシリーズを接続するケーブルです。 |
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C9DAKM-050 | 5m (196"inch) |
③電流導入端子 | 9D-275 | D-Subタイプコネクタを採用しています。導入端子は、真空側・大気側ともオスになっています。フランジ規格はICF70です。 | |
なおご要望に応じてステージのコネクタも以下のように変更できます。 1. ケーブル直出し(ケーブル長最長2m)(配線色は、結線例を参照) 2.ターミナル(結線をターミナルに取付) 詳しくは営業部までお問い合わせ下さい。 |
結線例
※旧タイプはオレンジ色です