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kanekodesign の記事
NEWS
2024
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SEMICON Japan 2024 出展のお知らせ
平素は格別のお引き立てを賜り、誠にありがとうございます。12/11(水)〜13(金)に 東京ビッグサイトで開催される《 SEMICON Japan 2024 》に出展いたします。 --- 出展内容 --------------------------------------------------------------------------------------------------------------------- ● ウエハ形状測定システム 《 Dyvoce 》 ● 超高精度アライメントステージ 《 RSTアライナー 》 ● 高耐荷重6軸アライメントステージ 《 モンブランシリーズ、新型Zステージを組み合わせ 》------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------ ● ウエハ形状測定システム 《 Dyvoce 》φ2〜12インチまでのウエハの反り・厚さや、SiCインゴットの形状を測定できます。SORI測定では自重たわみを補正した《真の反り形状》を出力できます。そのほか、反り測定の結果から応力解析ができるアプリケーションもご案内いたします。また、TAIKOウエハ向けの反り・厚み・リム部形状を計測可能な自動機をご案内いたします。OHT/AVG対応可能で、TAIKO加工工程内での形状管理も可能になります。 ● 6軸超高精度アライメントステージ 《 RSTアライナー 》ウエハアライメントに必要不可欠なサブミクロンの追従性と、高耐荷重(1tonも可能)を同時に実現。大口径の中空穴も用意され、ウエハ接合装置の他、露光装置への組み込みにも最適です。また、駆動部をユニット化したことにより、搭載ワークに応じて形状を自由に設計できます。 ● 高耐荷重6軸アライメントステージ 《 モンブランシリーズ、新型Zステージを組み合わせ 》半導体パッケージの微細化、多ピン化により、通電検査装置のなかの位置決め機構には、高精度、高剛性がより求められるようになりました。当社の多様な標準品ラインナップ+新型のZステージを組み合わせた、6軸ユニットをご提案いたします。 □■□━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━ SEMICON Japan 2024 会期: 12 月 11日(水)10:00〜17:00 12 月 12日(木)10:00〜17:00 12 月 13日(金)10:00〜17:00会場:東京ビッグサイト住所 :〒135-0063 東京都江東区有明3-11-1TEL :03-3292-5541URL:https://www.semiconjapan.org/jpブースNo. :東1ホール 1542 ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━ 皆様のお越しを心よりお待ちしております。
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