先進パワー半導体分科会第10回講演会出展のお知らせ
平素は格別のお引き立てを賜り、誠にありがとうございます。
11/30(木)～12/1(金)に ANAクラウンプラザホテル金沢で開催される《 先進パワー半導体分科会第10回講演会 》に出展いたします。
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● 形状測定システム 《 Dyvoce 》 のご案内
・ 1mm以上の反りでも測定可能
・ サイト平坦度評価アプリケーション
・ 応力解析アプリケーション
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《 1mm以上の反り 》
φ8インチSiCウエハで特に厚さ350μmの場合、プロセスによっては600μm以上の反りとなることもあります。
その状態でも安定的に反り（SORI）測定・厚さ（GBIR）想定が可能です。
《 サイト平坦度評価アプリケーション 》
ウエハのSORIやGBIRなどのグローバルな情報をもとに、
サイトの平坦度評価が可能なアプリケーションをご案内いたします。
《 応力解析アプリケーション 》
プロセス前後でのウエハのSORIやGBIRなどのグローバルな情報をもとに、
ウエハが持つ応力を解析で・出力できるアプリケーションをご案内いたします。
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先進パワー半導体分科会第10回講演会
会期：
11 月 30日（水）10：00～17：00
12 月 01日（木）10：00～17：00
会場 ： ANAクラウンプラザホテル金沢
住所 ： 〒920-8518石川県金沢市昭和町16-3
TEL ： 076-224-6111
URL ： https://www.anacrowneplaza-kanazawa.jp/
ブースNo. ： 企業展示エリア No.01
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皆様のお越しを心よりお待ちしております。