SEMICON Japan 2023　出展のお知らせ

---

平素は格別のお引き立てを賜り、誠にありがとうございます。
12/13(水)～15(金)に 東京ビッグサイトで開催される《 SEMICON Japan 2023 》に出展いたします。

---　TOPIC　--------------------------------------------------------------------------------------
　●　ウエハ形状測定システム 《 Dyvoce 》実機展示
　●　超高精度アライメントステージ 《 RSTアライナー 》の実機展示　
　●　超高精度アライメントステージ 《 RSTアライナー6軸type 》の実機展示　　★ NEW ! ★
----------------------------------------------------------------------------------------------------

●　ウエハ形状測定システム 《 Dyvoce 》
φ2～12インチまでのウエハの反り・厚さを測定できます。
SORI測定では自重たわみを補正した《真の反り形状》を出力できます。
そのほか、反り測定の結果から応力解析ができるアプリケーションもご案内いたします。
また、TAIKOウエハ向けの反り・厚み・リム部形状を計測可能な自動機をご案内いたします。
OHT/AVG対応可能で、TAIKO加工工程内での形状管理も可能になります。

●　超高精度アライメントステージ 《 RSTアライナー 》
アライメント精度に必要不可欠なサブミクロン領域での高追従で、
大口径の中空穴も用意され、露光装置向けとしても対応可能です。
また、駆動部をユニット化したことにより、搭載ワークに応じて形状を自由に設計できます。

●　超高精度アライメントステージ 《 RSTアライナー 6軸type 》
超高精度アライメントステージ「RSTアライナー」にZ駆動/チルト駆動を追加した新製品を出展致します。
従来の追従性(0.1μm、0.1秒）はそのままに、X・Y・Z・θx・θy・θzの6軸アライメントが可能となります。

□■□━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━

SEMICON Japan 2023

会期：
　12 月 15日（水）10：00～17：00
　12 月 16日（木）10：00～17：00
　12 月 17日（金）10：00～17：00
会場 　　　：　東京ビッグサイト
住所 　　   ：　〒135-0063 東京都江東区有明3-11-1
TEL 　　　：　03-5530-1111
URL　　　：　https://www.semiconjapan.org/jp/
ブースNo.  ：　東2ホール 1933

━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━

皆様のお越しを心よりお待ちしております。

 

 

---