自動X/XYステージ

XA20F-L2501

価格(JPY)
¥ 1,400,000
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ステージ結線図

備考・特徴

●本体部材質に鉄、送り方式にボールネジを採用することにより高剛性と精密位置決めを同時に実現。
●各種測定機器への利用に最適。
●クリーンルーム対応。
●モーター5本リード線用ケーブルをご使用ください。
●2相ステッピングモーター仕様も承ります。 [型式] XA20F-L2501-BM 追加費用¥40,000
2相モーター仕様の場合は、コネクタ型式が変わります。
メカ仕様
型式XA20F-L2501
勝手違いXA20F-L2501-R
テーブル面200mm×218mm
案内方式精密リニアガイド
移動範囲±250mm
送り方式ボールネジ, リード 5.0mm
分解能 フル/ハーフ10μm/5μm
分解能 マイクロステップ (1/20分割)0.5μm
最高速度100mm/sec
累積リード誤差≦40μm/500mm
繰返し位置決め精度≦±0.5μm
ロストモーション≦10μm
水平真直度≦8μm/500mm
垂直真直度≦8μm/500mm
バックラッシュ≦2μm
モーメント荷重0.003 arcsec/N・cm
水平耐荷重980N (100kgf)
材質鉄 (テーブル: アルミ合金)
外観黒色仕上げ
自重44kg
電気仕様
使用モータ5相ステッピングモーター(Oriental Motor:C087Q-9215P)
2相ステッピングモーター(Oriental Motor: PK264JDB)
モーター軸径:Φ8mm , オプションハンドル:B type
コネクタ型式5相モーター:丸形20ピン (ヒロセ: RP13A-12RA-20PC)
2相モーター:角形20ピン (ヒロセ: PC-1620, P-1620A-STA)
センサ基板型式F-104(LIMIT), F-105(HOME)
オーバーホール費
¥ 280,000~
※オーバーホール費に交換部品代は含まれません
オプション・グリス交換
クリーングリス交換費( 型式末尾に”-C”が付きます) ¥ 72,000
真空グリス交換費(型式末尾に”-V”が付きます) ¥ 72,000
オプション・モータ交換
同形モータ交換費 ¥ 15,000~
異形モータ交換費 ¥ 36,000~
※モータ交換費に モータ費用は含まれません
 アクセサリ
 アクセサリ スペーサ等のアクセサリについてはこちらをご覧ください
お客様のご要望により製品の改造も承ります。詳しくはお問い合わせください。

自動X/XYステージ