6軸マニピュレータ SMR-6B2 特徴と採用メリット

MPS

【特徴】
一体型の自動XYθステージを採用した6軸ユニットは超小型で省スペース。
突起部品も少なく、限られる極省スペースへの設置が可能です。
全ての軸にボールネジを採用することで耐久性アップ。
剛性を重視した設計、組立て調整を行ない、サブミクロンの精度を実現しています。

【採用メリット】
各種電子部品の生産用/検査装置としてのアライメント(画像処理)として最適。
剛性を高めたステージは、位置決め精度・応答性が良くアライメント時間が短縮され
生産タクトタイム・歩留まり率の改善につながります。


動画紹介

製品カタログ

製品カタログ

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製品仕様

軸名称 移動範囲 最高速度 分解能(ハーフステップ)
X ±3mm 10mm/sec 1μm
Y
Z ±2.5mm 1.25mm/sec 0.125μm
θx ±5° 11.3°/sec 約0.000378°
θy ±4.5° 8.5°/sec 約0.000282°
θz ±3° 12.7°/sec 0.00127°


寸法図(図をクリックで拡大)

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