超高精度アライメントステージ RST Aligner

高い追従性 0.1μm±20nmを実現

スケール等のフィードバックを掛けずに
サブミクロンでのステップを綺麗に刻みます。

バランスの取れた正三角形配置

RST Aligner最大の特徴である駆動ユニットの配置。この軸配
置がアライメントに必須の高精度な微少駆動を可能にします。
制御に必要な計算式は無償提供いたします。

駆動イメージ





専用設計の駆動ユニット

RST Aligner用に専用設計した駆動ユニット。モンブランシ
リーズで培った技術の粋を集約。高い分解能設定でも、感度良
く追従します。 

特徴

大口径透過穴

 構造上、透過穴サイズに制約をもたらすベアリングを使用していない為、大口径の透過穴を設けることが可能です。

テーブルサイズ自在

 駆動部をユニット化したことにより、搭載ワークに応じて、テーブルサイズ、形状を自由に設計できます。

Z機構の追加可能

 貼り合わせ用途などで必要とされるZ機構追加のご提案も可能です。

その他、カスタム対応

  ◦ストローク変更
  ◦高耐荷重仕様
  ◦外観色の変更


仕様等、お気軽にご相談ください。

 

 

用途例

  • ウエハ結合装置
  • 露光装置
  • 各種基板の通電検査装置
  • サブミクロンの各種アライメント

 

 

システム構成

寸法図

仕様

型式 RSTA-005
サイズ φ400mm (突起含まず)
透過穴 φ230mm
耐荷重 60kg
材質 アルミ合金
外観 白色アルマイト
モータ型式 PK523HPMB-H50S(オリエンタルモーター)
分解能 X:20nm Y:約11.55nm θ:約0.01366″(マイクロステップ1/4動作時)
ストローク XY:±3mm θ:2°

 

 

超高精度アライメントステージ