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NEWS
2025
06
／
03
300mmストロークXYステージ｢YALW-L23301｣(特注対応)のご案内
平素より格別のご高配を賜り、誠にありがとうございます。 Φ300mmウエハの位置決めに最適な高精度XYステージ(特注対応品）のご紹介です。 本製品は、高精度と安定性を両立した設計で、以下の特長を有しています：・幅広型Xステージを採用し、上軸の重心移動を全ストロークにわたり安定支持・垂直方向の真直度：7μm（XY組み合わせ時の保証値）・駆動中の姿勢変化を抑制し、ワーク位置においても高い位置決め精度を維持・サーボモーター等、各種モーター変更に対応・ケーブルベア、リニアスケールの取付も可能 型式：YALW-L23301 仕様については、下記URLをご参照ください。https://www.kohzu.co.jp/wp-content/themes/kohzu/assets/pdf/Flyer_YALW-L23301.pdf
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