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真空対応ステージ
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真空対応位置決めステージ
真空対応 回転ステージ
真空対応 回転ステージ
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型 式
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移動範囲
水平耐荷重
MVRA05A-W02
Φ49mm
±140°
39.2N (4kgf)
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MVRA07A-W02
Φ68mm
±135°
58.8N(6kgf)
詳 細
MVRA10A-W01
Φ98mm
±140°
98N(10kgf)
詳 細
MVRA16A-WH01
Φ158mm
±170°
588N (60kgf)
詳 細
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