ウエハ形状測定ソリューション
DY-2000RC/DY-3000RC測定実績
下のリストに記載の通り様々な材料の測定実績がございます。また、サンプル測定を随時実施しておりますので、お問い合わせください。
Measurement Examples
Legend for Mesurment Items： ◎：Optimum, ◎：Possible，△：Partially Possible，✕：Wrong
| Category | Material / Article | Status | Size | Mesurment Items※１※２ | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| XY | T | Surface Profile |
SORI | BOW | WARP | Thickness | TTV | GBIR | |||
| Semiconductor (Wafer) |
Si SIC GaN Sapphire(Al2O3) Ga2O3 GaAs Si3N4 LT(LiTaO3) LN(LiNbO3) Glass Crystal(SiO2) InP AlN Diamond(C) CdTe |
Polished Grinded CoinRoll As Slice Etched Patterned Laminated Bonded CVD TAIKO MEM |
<Φ12inch | 1<T<800 [um] | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ |
| Semiconductor (Plastic) |
Plastic Film Redin Resist Glue |
Laminated Bonded |
<Φ12inch | 1<T<2000 [um] | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ |
※2 特注装置を設計・製作することにより、通常は計測出来ない項目でも計測が可能となる場合がございますので、お問い合わせください。