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高精度アライメント用 回転ステージ「RA16A-T01」新発売

平素より格別のご高配を賜り、誠にありがとうございます。

このたび、当社のボールねじ駆動タンジェントバー方式回転ステージのラインナップに、新製品「RA16A-T01」が加わりました。
ウエハなどの基板の高精度な角度調整に最適な、薄型かつ高性能な回転ステージです。


主な特長:
・テーブルサイズ:160 mm × 160 mm
・本体厚み:45 mm
・ウエハ等の基板の微小アライメントに最適
・静止時負荷容量:1961 N(200 kgf)


製品の詳細につきましては、以下のリンクよりご覧ください:
https://www.kohzu.co.jp/products/positioning-stages/item/ra16a-t01/