平素より格別のご高配を賜り、誠にありがとうございます。

Φ300mmウエハの位置決めに最適な高精度XYステージ(特注対応品）のご紹介です。

本製品は、高精度と安定性を両立した設計で、以下の特長を有しています：
・幅広型Xステージを採用し、上軸の重心移動を全ストロークにわたり安定支持
・垂直方向の真直度：7μm（XY組み合わせ時の保証値）
・駆動中の姿勢変化を抑制し、ワーク位置においても高い位置決め精度を維持
・サーボモーター等、各種モーター変更に対応
・ケーブルベア、リニアスケールの取付も可能

型式：YALW-L23301

仕様については、下記URLをご参照ください。
https://www.kohzu.co.jp/wp-content/themes/kohzu/assets/pdf/Flyer_YALW-L23301.pdf