手動X/XYステージ モンブランシリーズ ※詳細は型式をクリックして下さい
XM10F-C3-CL
本製品をと比較する:
Select a product to compare
備考・特徴
●精密クロスローラガイドを使用した手動XYステージです。
●本体材質は鉄、ニッケルメッキ仕上げを採用。
●センター押しタイプは使い易さに優れています。
●「Fine Pitch Positioner FPP03-13」を搭載した高分解能タイプです。
●「FPP03-13」は神津精機が独自設計開発したサブミクロン対応のマイクロメータヘッドです。
●本体材質は鉄、ニッケルメッキ仕上げを採用。
●センター押しタイプは使い易さに優れています。
●「Fine Pitch Positioner FPP03-13」を搭載した高分解能タイプです。
●「FPP03-13」は神津精機が独自設計開発したサブミクロン対応のマイクロメータヘッドです。
メカ仕様
型式 | XM10F-C3-CL |
---|---|
勝手違い | XM10F-C3-R-CL |
テーブル面 | 100mm×100mm |
案内方式 | 精密クロスローラガイド |
移動範囲 | 粗動 13mm, 微動 0.3mm |
真直度 | ≦1.5μm/13mm |
最小読み取り | 粗動 約10μm/目盛, 微動 約0.5μm/目盛 |
モーメント荷重 | 0.04 arcsec/N・cm |
水平耐荷重 | 196N (20kgf) |
材質 | 鉄 |
外観 | ニッケルメッキ仕上げ |
自重 | 1.6kg |
直交度 | - |
駆動方式 | 精密ポジショナー FPP03-13(13mm) |
オーバーホール費 |
---|
¥ 15,000~ |
オプション・グリス交換 | |
---|---|
クリーングリス交換費( 型式末尾に”-C”が付きます) | ¥ 12,000 |
真空グリス交換費(型式末尾に”-V”が付きます) | ¥ 12,000 |
オプション・モータ交換 | |
---|---|
同形モータ交換費 | ~ |
異形モータ交換費 | ~ |
アクセサリ | |
---|---|
アクセサリ | スペーサ等のアクセサリについてはこちらをご覧ください |