アライメントステージ
YRA-200
価格(JPY)
¥780,000
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ステージ結線図
メカ仕様
型式
YRA-200
勝手違い
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テーブル面
210mm×150mm
案内方式
XY：精密リニアガイド θ：クロスローラベアリング
移動範囲
XY：±5mm θ：±5°
送り方式
ボールネジ, リード 1.0mm
分解能 フル/ハーフ
XY：1μm/0.5μm θ: 0.000498°/0.000249°
最高速度
XY：10mm/sec : Half 20kpps θ：4.98°/sec : Half 20kpps
繰返し位置決め精度
X：≦±0.5μm（AVE. ±0.133μm） Y：≦±0.5μm（AVE. ±0.186μm）
ロストモーション
X：≦ 2μm（AVE. 0.666μm） Y：≦ 2μm（AVE. 1.097μm） θ：≦ 0.005°（AVE. 0.0013°）
水平真直度
X：≦ 3μm/10mm（AVE. 0.358μm/10mm） Y：≦ 3μm/10mm（AVE. 0.473μm/10mm）
垂直真直度
X：≦ 3μm/10mm（AVE. 0.176μm/10mm） Y：≦ 3μm/10mm（AVE. 0.345μm/10mm）
角度再現性
θ：≦ 0.001°（AVE. 0.0001°）
バックラッシュ
X：≦ 1μm（AVE. 0.353μm） Y：≦ 1μm（AVE. 0.589μm） θ：≦ 0.005°（AVE. 0.0008°）
モーメント剛性
X：0.03arcsec／N・cm（AVE. 0.029 arcsec/N・cm） Y：0.05arcsec／N・cm（AVE. 0.013 arcsec/N・cm）
水平耐荷重
343N (35kgf)
面振れ
θ：≦5μm/±5°（AVE. 1.938μm/±5°）
偏心
θ：≦5μm/±5°（AVE. 1.277μm/±5°）
材質
アルミ合金
外観
白色仕上げ
自重
5.15kg
電気仕様
センサ基板型式
XY:F-115(HOME, LIMIT), θ:F-115R(HOME, LIMIT)
使用モーター 5相ステッピングモーター
PK523HPMB（オリエンタルモーター: 定格電流 0.75A/相，基本ステップ角 0.36°, リード線5本）
コネクタ型式
丸形20ピン（ヒロセ: RP13A-12JG-20PC）
オーバーホール費
¥160,000~
オプション・グリス交換
クリーングリス交換費（ 型式末尾に”-C”が付きます）
¥68,000~
真空グリス交換費（型式末尾に”-V”が付きます）
¥68,000~
オプション・モータ交換
同形モータ交換費
¥45,000~
異形モータ交換費
¥90,000~
制御装置
アクセサリ
備考・特徴
本体厚さ: 55mm
静止時負荷容量※：1961N (200kgf)
※ ワーク重心がステージ中央（垂直方向等分布）で、かつ動作させないときに耐えうる荷重。