平素は格別のお引き立てを賜り、誠にありがとうございます。
11/25(月)〜11/26(火)に 群馬県のGメッセ群馬で開催される《 先進パワー半導体分科会第11回講演会 》に出展いたします。

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　●　形状測定システム 《 Dyvoce 》 のご案内
　　　　・　1mm以上の反りでも測定可能
　　　　・　サイト平坦度評価アプリケーション
　　　　・　応力解析アプリケーション
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《　1mm以上の反り　》
φ8インチSiCウエハで特に厚さ350μmの場合、プロセスによっては600μm以上の反りとなることもあります。
その状態でも安定的に反り（SORI）測定・厚さ（GBIR）想定が可能です。

《　サイト平坦度評価アプリケーション　》
ウエハのSORIやGBIRなどのグローバルな情報をもとに、
サイトの平坦度評価が可能なアプリケーションをご案内いたします。

《　応力解析アプリケーション　》
プロセス前後でのウエハのSORIやGBIRなどのグローバルな情報をもとに、
ウエハが持つ応力を解析で・出力できるアプリケーションをご案内いたします。

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先進パワー半導体分科会第11回講演会

会期：
　11 月 25日（月）09：55〜17：45
　11 月 26日（火）09：30〜17：30
会場：Gメッセ群馬
住所：〒370-0044 群馬県高崎市岩押町12-24
TEL：027-322-2100
URL：https://annex.jsap.or.jp/adps/scrm11/
ブースNo.：通路エリア　A-01

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皆様のお越しを心よりお待ちしております。