位置決めステージ
【モンブランシリーズ】
RM10A-C1
メカ仕様
型式
RM10A-C1
勝手違い
RM10A-C1-R
テーブル面
Φ98mm
案内方式
クロスローラベアリング
駆動方式
マイクロメータヘッド(13mm)
回転範囲
粗動360° 微動±3°
最小読み取り(テーブル)
1°/目盛
最小読み取り(マイクロ)
約0.0094°/目盛
モーメント剛性
0.15arcsec/N・cm
水平耐荷重
147N (15kgf)
センター穴
φ30
面振れ
15μm/360°
偏心
15μm/360°
材質
アルミ合金
外観
白色仕上げ
自重
0.77kg
オーバーホール費
¥21,000~
オプション・グリス交換
クリーングリス交換費( 型式末尾に”-C”が付きます)
¥15,000
真空グリス交換費(型式末尾に”-V”が付きます)
¥15,000
アクセサリ
備考・特徴
●精密クロスローラベアリングを使用した手動回転ステージです。
●本体材質はアルミ白色仕上げを採用。