位置決めステージ
【モンブランシリーズ】
ST05A-S3T-CL
メカ仕様
型式
ST05A-S3T-CL
勝手違い
ST05A-S3T-R-CL
テーブル面
50mm×50mm
案内方式
精密クロスローラガイド
駆動方式
精密ポジショナー FPP03-13(13mm)
回転範囲
±3°
ワークディスタンス
50mm±0.2mm
最小読み取り
-
回転角
粗動 約0.0097°微動 約0.00048°
モーメント剛性
0.31 arcsec/N・cm
水平耐荷重
29.4N (3kgf)
回転中心変位量
φ0.05mm/±3°
材質
アルミ合金
外観
白色仕上げ
自重
0.21kg
オーバーホール費
¥24,000~
オプション・グリス交換
クリーングリス交換費( 型式末尾に”-C”が付きます)
¥18,000
真空グリス交換費(型式末尾に”-V”が付きます)
¥18,000
アクセサリ
備考・特徴
●FPP03-13を搭載した手動スイベル(ゴニオ)ステージです。
●FPP03-13は神津精機が独自設計開発したサブミクロン対応のマイクロメータヘッドです。
●案内方式は精密クロスローラガイドを使用。
●本体材質はアルミ白色仕上げ。