位置決めステージ 【モンブランシリーズ】
価格(JPY) ¥90,000
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メカ仕様
型式
XM05A-S3-CL
勝手違い
XM05A-S3-R-CL
テーブル面
50mm×50mm
案内方式
精密クロスローラーガイド
駆動方式
精密ポジショナー FPP03-13(13mm)
移動範囲
粗動 13mm, 微動0.3mm
最小読み取り
粗動 10μm/目盛, 微動 0.5μm/目盛
真直度
≦2.0μm/13mm
モーメント剛性
0.31 arcsec/N・cm
水平耐荷重
39.2N (4kgf)
材質
アルミ合金
外観
白色仕上げ
自重
0.3kg
オーバーホール費
¥15,000~
※オーバーホール費に交換部品代は含まれません
オプション・グリス交換
クリーングリス交換費( 型式末尾に”-C”が付きます)
¥12,000
真空グリス交換費(型式末尾に”-V”が付きます)
¥12,000
備考・特徴

●精密クロスローラガイドを使用した手動Xステージです。
●本体材質はアルミ白色仕上げを採用。
●サイド押しタイプはコンパクトで狭いスペースでの使用に最適です。
●「Fine Pitch Positioner FPP03-13」を搭載した高分解能タイプです。
●「FPP03-13」は神津精機が独自設計開発したサブミクロン対応のマイクロメータヘッドです。