位置決めステージ
【モンブランシリーズ】
XM07F-S3-CL
価格(JPY)
¥109,000
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メカ仕様
型式
XM07F-S3-CL
勝手違い
XM07F-S3-R-CL
テーブル面
70mm×70mm
案内方式
精密クロスローラーガイド
駆動方式
精密ポジショナー FPP03-13(13mm)
移動範囲
粗動 13mm, 微動0.3mm
最小読み取り
粗動 10μm/目盛, 微動 0.5μm/目盛
真直度
≦2.0μm/13mm
モーメント剛性
0.08 arcsec/N･cm
水平耐荷重
117.6N (12kgf)
材質
鉄
外観
ニッケルメッキ仕上げ
自重
0.96kg
オーバーホール費
¥15,000~
オプション・グリス交換
クリーングリス交換費（ 型式末尾に”-C”が付きます）
¥12,000
真空グリス交換費（型式末尾に”-V”が付きます）
¥12,000
アクセサリ
備考・特徴
●高剛性精密クロスローラガイドを使用した手動Xステージです。
●本体材質は鉄、ニッケルメッキ仕上げを採用。
●サイド押しタイプはコンパクトで狭いスペースでの使用に最適です。
●「Fine Pitch Positioner FPP03-13」を搭載した高分解能タイプです。
●「FPP03-13」は神津精機が独自設計開発したサブミクロン対応のマイクロメータヘッドです。
