制御コントローラ
・ピエゾステージを駆動制御するためのコントローラです。
・制御回路・ドライバ・変位センサアンプを一体型とし、ピエゾステージと直接接続してクローズドループ制御を行うことができます。
【インターフェイス】
●制御指令 | |
ピエゾステージに位置指令を与える入力インターフェースとして、アナログ電圧(0~10V)指令を標準装備。 オプションでデジタル指令(シリアル、パラレル)を追加できます。 |
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●モニタ信号 | |
ピエゾステージ内蔵の変位センサ信号を電圧として出力する「センサモニタ」や、指令信号と実動作の偏差を出力する「差分信号」を装備。オシロスコープなどでステージの動作状況をリアルタイムに観察できます。 | |
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単軸専用 |
シリーズ | 6000 | 7000 |
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型番 | CS61 □ □ C | NCS71 □ □ C |
制御軸数 | 1軸 | ||
フィードバック制御方式 | PIアナログ | PIDアナログ | |
□入力インタフェース | 標準装備 : アナログ電圧 (0 ~ 10V) オプション : シリアル(RS232C)またはパラレル(16bit)を選択 |
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□出力電流 | 汎用タイプ:40mA (平均電流), リップルノイズ5mVp-p 低ノイズタイプ:60mA (平均電流), リップルノイズ1mVp-p |
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モニタ用出力 | センサモニタ/ピエゾモニタ/差分信号 | ||
保護回路 | 負荷ショート検出と過熱保護回路による圧電素子の出力遮断 | ||
電 源 | AC100~120V / AC200~240V 切替式 | ||
消費電力 | 50VA | ||
外形寸法 | W87.5×D365×H135.8 mm | ||
本体質量 | 2.7 kg |
多軸拡張用 |
シリーズ | 6000 | 7000 |
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型番 | NCM6 □ □ □ C | NCM7 □ □ □ C |
□制御軸数 | 1~3軸 | ||
フィードバック制御方式 | PIアナログ | PIDアナログ | |
□入力インタフェース | 標準装備 : アナログ電圧 (0 ~ 10V) オプション : シリアル(RS232C) |
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□出力電流 | 汎用タイプ:40mA (平均電流), リップルノイズ5mVp-p 低ノイズタイプ:60mA (平均電流), リップルノイズ1mVp-p |
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モニタ用出力 | センサモニタ/ピエゾモニタ/偏差信号 | ||
保護回路 | 負荷ショート検出と過熱保護回路による圧電素子の出力遮断 | ||
電 源 | C100~120V / AC200~240V 切替式 | ||
消費電力 | 100VA | ||
外形寸法 | W236×D388×H140 mm | ||
本体質量 | 5.4 kg |
【コントローラ型番構成】
【接続構成図】