回転・チルトステージ

【特  徴】

・『回転・チルトステージ』は、ピエゾ駆動による微小な角度調整が行えるラインナップです。
・最大角度変位量は小さいながら、高速応答性、高い位置再現性といった特性を備えておりレーザ光スキャニング、ミラーアライメント、面合わせなどに最適です。


【色々な回転軸を持つタイプを揃え、目的に応じて選定可能】

略図

【用  途】

・ レーザ光軸調整 ・精密平行面合わせ ・ レーザ加工用ミラーアライメント
・ 光学デバイス微小角調整 ・チルト調整 ・ キャビティ長調整 
     
     
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光学ミラー用 型 式 最大振れ角 分解能 共通周波数
[Hz]
本体サイズ
[mm]
光学ミラー用 PT1M36-500S XY軸 500秒
≒2.4mad
0.05秒
≒0.24μrad
8000 36×42×29
PT2M40-800S XY軸 500秒
≒3.9mad
0.05秒
≒0.24μrad
330 40×60×45


チルト・回転 型 式 最大振れ角 分解能 共通周波数
[Hz]
本体サイズ
[mm]
チルト・回転 チルト
PT1T60-500S XY軸 500秒
≒2.4mad
0.05秒
≒0.10μrad
1800 60×60×30
回転
PT1C60-800S XY軸 800秒
≒3.9mad
0.05秒
≒0.24μrad
640 60×60×20
PT1C60-1800S XY軸 1800秒
≒8.7mad
0.05秒
≒1.0μrad
240 60×70×30


ゴニオ 型 式 最大振れ角 分解能 共通周波数
[Hz]
本体サイズ
[mm]
ゴニオ PT1G100-300S XY軸 300秒
≒1.5mad
0.05秒
≒0.10μrad
260 100×100×30
PT1G100-500S XY軸 500秒
≒2.4mad
0.05秒
≒0.24μrad
260 100×100×30


傾斜+昇降 型 式 最大振れ角 分解能 共通周波数
[Hz]
本体サイズ
[mm]
傾斜+昇降 PT3V80F-400S XY軸 ±400秒
≒±1.9mrad
(Z)100μm
0.02秒
≒0.10μrad
(Z)2nm
270 80×80×32
PT3V100-800S XY軸 ±800秒
≒2.4mad
(Z)300μm
0.04秒
≒0.19μrad
(Z)10nm
230 100×100×32


 

回転・チルトステージ